张浩教授用在射频系统的体声波微机械谐振器(FBAR).pdf

2024-03-23

10

6.3MB

MEMS射频薄膜体声波谐振器(FBAR)研究的中期报告.docx

MEMS射频薄膜体声波谐振器(FBAR)研究的中期报告MEMS射频薄膜体声波谐振器（FBAR）是一种基于微机电系统（MEMS）技术制造的微型振荡器。它具有高频率和高品质因素等优良特性，广泛应用于移动通信、无线传感器、雷达和调频广播等领域。本中期报告总结了近年来FBAR研究的进展情况、主要应用领域和未来发展方向，具体内容如下：一、FBAR的工作原理和制备技术FBAR由压电材料构成的压电膜棒、上电极和下电极组成。当施加外加电场时，压电膜棒会发生振动，形成声波谐振，其振荡频率由膜棒的厚度和压电材料的介电常数决定

2024-09-14

5

10KB

基于氮化铝(AlN)薄膜的薄膜体声波谐振器(FBAR)研究.docx

基于氮化铝(AlN)薄膜的薄膜体声波谐振器(FBAR)研究摘要本文针对最新的一种谐振器——薄膜体声波谐振器(FBAR)，进行探讨和研究。首先，介绍了FBAR的基本结构和工作原理，然后探讨了采用氮化铝制成的FBAR的特点和优点。接着，本文分析了薄膜体声波谐振器在无线通信、汽车电子、生物医学领域等方面的应用，证明了其在未来有良好的发展前景。最后，本文总结了FBAR的优势和未来发展方向。关键词：氮化铝，薄膜体声波谐振器，无线通信，汽车电子，生物医学领域，未来发展。引言随着科技的不断发展，无线通信、汽车电子、生物

2024-10-15

5

11KB

基于薄膜体声波谐振器(FBAR)技术的无线传感集成系统研究综述报告.docx

基于薄膜体声波谐振器(FBAR)技术的无线传感集成系统研究综述报告薄膜体声波谐振器（FBAR）技术是一种利用压电材料中的表面声波振荡模式进行无线传感的先进技术。随着无线通信和传感技术的迅猛发展，FBAR技术在无线传感领域引起了广泛的关注。FBAR是一种基于压电效应的材料制备技术，其主要原理是利用压电材料如铝硅酸盐在尺寸尺度下的表面声波谐振，产生高频振荡信号。FBAR器件结构由压电材料薄膜、电极和衬底组成，其中压电薄膜起振荡的作用，而电极用于激励和接收表面声波信号。FBAR技术具有许多优点，使其成为无线传感

2024-10-25

5

10KB

新型电调薄膜体声波谐振器(FBAR)研究任务书.docx

新型电调薄膜体声波谐振器(FBAR)研究任务书一、研究背景及意义随着移动通信技术的发展，无线通信已经成为日常生活中必不可少的一部分。而在无线通信中，振荡器作为其核心部件，对通信系统的性能有着重要的影响。然而，传统的振荡器不仅体积大、重量重，而且存在着许多制造和应用上的缺陷。为此，人们一直在探索一种新型的振荡器，以满足现代通信技术对振荡器的高要求。其中，FBAR振荡器作为一种新型的压电谐振器，由于其具有体积小、重量轻、品质因数高等优点，日渐成为研究和应用的热点。FBAR振荡器是一种薄膜体声波谐振器，它包括了

2024-10-13

5

11KB