晶圆传输机器人振动分析与轨迹控制.docx

硕士学位论文晶圆传输机器人振动分析与轨迹控制(附录)VIBRATIONANALYSISANDTRAJECTORYCONTROLFORWAFERTRANSFERROBOTXXXX大学2011年6月目录-PAGEI-目录TOC\o"1-3"\u第1部分模型验证与评估PAGEREF_Toc296916994\h11.1初始条件确定PAGEREF_Toc296916995\h11.2MATLAB算法实现PAGEREF_Toc296916996\h21.3ADAMS仿真PAGEREF_Toc296916997\h6第2部分振动分析与轨迹控制PAGEREF_Toc296916998\h112.1振动分析PAGEREF_Toc296916999\h112.1.1机器人结构对振动影响PAGEREF_Toc296917000\h112.1.2电机运动对振动的影响PAGEREF_Toc296917001\h112.2轨迹控制PAGEREF_Toc296917002\h162.2.1引言PAGEREF_Toc296917003\h162.2.2无插补运动程序PAGEREF_Toc296917004\h162.2.3定步长插补运动程序PAGEREF_Toc296917005\h202.2.4定时插补运动程序PAGEREF_Toc296917006\h26第3部分实验验证PAGEREF_Toc296917007\h343.1实验系统搭建PAGEREF_Toc296917008\h343.1.1硬件连接PAGEREF_Toc296917009\h343.1.2软件程序PAGEREF_Toc296917010\h353.2实验原始数据PAGEREF_Toc296917011\h85XX大学工学硕士学位论文(附录)--第1部分模型验证与评估1.1初始条件确定本部分将根据动力学推导公式，利用MATLAB进行动力学计算，然后与ADAMS仿真进行对比。首先确定模型中各已知条件。机器人模型中各已知量见REF_Ref296875258\h\*MERGEFORMAT表1-1所示。表1-SEQ表1-\*ARABIC1机器人模型已知量杆件i坐标系参数杆件参数000－24.0701－169.30－7.5600－257.807.75.56223284.518542.11.70594-4.318519.81.3712547.829001.1985机器人初始位置，大臂、小臂、末端手均与前一杆件的Z轴成120°。即：(1-SEQ1-\*ARABIC1)设定三个电机加速度曲线，如REF_Ref296873696\h\*MERGEFORMAT图1-1所示。图1-SEQ图1-\*ARABIC1三个电机加速度曲线根据以上条件，编写MATLAB算法程序，同时利用ADAMS建立虚拟样机，输入同样的加速度曲线。1.2MATLAB算法实现利用MATLAB计算动力学公式，算法实现过程如下：图1-SEQ图1-\*ARABIC2MATLAB算法流程图MATLAB程序如下：m0=24070.4e-3;m1=7560.0e-3;m2=5562.2e-3;m3=1705.9e-3;m4=1371.2e-3;m5=1198.5e-3;L4=185e-3;L5=185e-3;L6=290e-3;lx3=80.1180e-3;lx4=75.4419e-3;lx5=81.3457e-3;lz3=7.65e-3;lz4=42.1449e-3;lz5=19.78e-3;d1=69.3e-3;d2=57.8e-3;d3=284.5e-3;d4=-4.344e-3;d5=47.84e-3;g=9.8;S=0.01;I2=8.0592E-03;I3=1.6571E-02;I4=1.0807E-02;I5=1.2786E-02;Pc(3,5)=0;Pc