潜水肺气压伤.pptx
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SiC基板的潜伤深度推定方法.pdf
本发明提供一种SiC基板的潜伤深度推定方法,包括蚀刻工序、计测工序和推定工序。在蚀刻工序中,对于至少表面由单晶SiC构成,并且进行了机械加工后的SiC基板,通过在Si气氛下进行加热处理而对该SiC基板的表面进行蚀刻。在计测工序中,对进行了蚀刻工序的SiC基板的表面粗糙度或者残留应力进行计测。在推定工序中,基于在计测工序中得到的结果,推定蚀刻工序前的SiC基板的潜伤的深度或者有无潜伤。