光栅位移传感器.ppt

光栅位移传感器长光栅---直线位移；圆光栅---角位移光栅位移传感器的结构及工作原理如图7-9所示，由主光栅、指示光栅、光源和光电器件等组成。主光栅固定在被测物体上，它随被测物体的直线位移而产生移动，其长度取决于测量范围，指示光栅相对于光电元件固定。当主光栅产生位移时，莫尔条纹便随着产生位移。用光电器件记录莫尔条纹通过某点的数目，便可知主光栅移动的距离，也就测得了被测物体的位移量。其电压为：光栅位移传感器的结构原理图莫尔条纹由大量等宽等间距的平行狭缝组成的光学器件称为光栅，如图7-7所示。用玻璃制成的光栅称为透射光栅，它是在透明玻璃上刻出大量等宽等间距的平行刻痕，每条刻痕处是不透光的，而两刻痕之间是透光的。光栅的刻痕密度一般为每厘米10、25、50、100线。刻痕之间的距离为栅距W。图7-7光栅结构放大图如果把两块栅距W相等的光栅面平行安装，且让它们的刻痕之间有较小的夹角θ时，这时光栅上会出现若干条明暗相间的条纹，这种条纹称莫尔条纹。如图7-8所示。莫尔条纹是光栅非重合部分光线透过而形成的亮带，它由一系列四棱形图案组成，如图7-8中d－d线区所示。图7-8中f－f线区则是由于光栅的遮光效应形成的。图7-8莫尔条纹长光栅莫尔条纹当光栅每移动一个光栅栅距W时，莫尔条纹也跟着移动一个条纹宽度BH。莫尔条纹的间距BH与两光栅线纹夹角θ之间的关系为莫尔条纹（Moire）播放中……光闸莫尔条纹环形莫尔条纹单击准备演示长光栅莫尔条纹长光栅光闸莫尔条纹(1)莫尔条纹的移动方向：当指示光栅不动，主光栅左右平移时，莫尔条纹将沿着指示栅线的方向上下移动。查看莫尔条纹的上下移动方向，即可确定主光栅左右移动方向。(2)位移的放大作用：当主光栅沿与刻线垂直方向移动一个栅距W时，莫尔条纹移动一个条纹间距B。当两个等距光栅的栅间夹角θ较小时，主光栅移动一个栅距W，莫尔条纹移动KW距离，K为莫尔条纹的放大系数：条纹间距与栅距的关系为：光栅位移传感器的应用光栅位移传感器：测量精度高（分辨率为0.1μm），动态测量范围广（0～1000mm），可进行无接触测量，容易实现系统的自动化和数字化。在机械工业中得到了广泛的应用，特别是在量具、数控机床的闭环反馈控制、工作母机的坐标测量等方面。