抗高过载技术.ppt

抗高过载技术过载与过载相对应，高过载(highoverload)的含义可解释为“十分过量”、“十分过度”，意即过载已经达到相当高的程度。弹药系统的冲击、振动环境弹药系统的冲击、振动环境弹药系统的冲击、振动环境弹药系统的冲击、振动环境弹道末期，通常以每秒几千英尺的高速穿入地面、混凝土、岩石或其它坚硬物质，其运动的平均加速度高达2万g，最大冲击加速度甚至达十万g乃至数十万g。抗过载装药电子元件试验方法试验方法试验方法试验方法试验方法试验方法试验方法试验方法试验方法试验方法试验时,将测量装置与试件钢性连接到试验舱的运动体上,当气体或火药作用产生瞬间强冲击，惯性体由于惯性不会立即随导向安装装置向前移动，而是相对导向安装装置在惯性体运动腔内反向移动，压缩测压铜柱，使测压铜柱产生塑性变形。测量装置与试件钢性连接，可以认为测得测量装置所受的加速度即为试件得加速度。仿真方法抗高过载方法抗高过载方法抗高过载方法抗高过载方法抗高过载方法采用高强度材料、精密加工制作零件，通过改善各部件的连接关系，对结构进行封装固化等措施来提高结构本身的抗高过载能力抗高过载MEMS惯性器件混合集成电路抗高过载MEMS惯性器件抗高过载技术的研究抗高过载技术的研究抗高过载技术的研究抗高过载技术的研究抗高过载技术的研究抗高过载技术的研究抗高过载技术的研究北京大学微电子所研制的高过载压阻式加速度计，其结构如图所示，量程为5万g。204所研制的988压电加速度计，其结构如图所示，量程为10万g，频率响应为25KHz，幅值线性为10%，电荷灵敏度为0.4-0.7pc/g，最大横向灵敏度比10%。上海微系统研究所用体硅微系统技术（包括DRIE技术）制作了一种双等质量块的等宽薄板结构的高过载加速度计，理论分析其最大量程为20万g，冲击灵敏度为1.43μv/g，固有频率优于200KHz。我国虽然近几年在理论和实验方面取得一定的进展，但无论是通过表面微机械加工还是体微机械加工，样机在抗高过载能力方面都存在较大的技术难点。在实际工程中，器件结构的设计，阻尼的设计，线路的设计以及封装技术等方面都存在或多或少的问题，与国际上的先进水平还有着很大的差距，因此还需要更多的研究，设计出满足高过载环境下所需求的产品。采用微机械限位结构法来提高梁—岛型压阻式加速度传感器的抗过载能力，并探索优化设计的方法研究采用整体式悬臂梁结构高G值MEMS传感器的结构和动力学模型，探索此类结构的高过载保护方法对高G值MEMS加速度传感器进行有限元模拟，对传感器的封装结构进行频域分析和时域分析，研究封装材料对传感器振动模态和输出信号的影响研究高G值MEMS加速度传感器的动态校准方法、校准装置及相应的动态数学模型基于有限元模拟和经验数值相结合的办法，研究电容式高G值MEMS加速度传感器的设计方法，并采用硅溶片工艺以及外围电路和表头的一体化设计方法，以提高传感器的抗高过载性能。混合集成电路抗高过载方法耐高过载组装互连加固技术抗高过载方法