PECVD法制备纳米硅薄膜及其研究的开题报告.docx
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PECVD法制备纳米硅薄膜及其研究的开题报告.docx
PECVD法制备纳米硅薄膜及其研究的开题报告开题报告题目:PECVD法制备纳米硅薄膜及其研究一、选题的背景和意义纳米硅材料因其特殊的光电、电子、材料力学等性质,已经成为众多领域中的研究热点之一。纳米硅薄膜作为一种新型的纳米硅材料,具有可调控的光学、电学性质,因此具有广泛的应用前景。其中,PECVD法已经成为制备纳米硅薄膜的主要方法之一。通过PECVD法可得到单晶纳米硅薄膜,其中的通孔和纳米柱可以在光电、电学器件中得到广泛的应用,极具应用价值。二、研究的目的和内容目的:本研究旨在通过PECVD法制备纳米硅薄
PECVD法制备纳米硅薄膜及其研究的开题报告.docx
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