第四章-光学干涉测量技术.ppt

光学测试技术干涉技术和干涉仪在光学测量中占有重要地位。近年来，随着数字图像处理技术的不断发展，使干涉测量这种以光波长作为测量尺度和测量基准的技术得到更为广泛的应用。在光学材料特性参数测试方面，用干涉法测量材料折射率精度可达10-6；对材料光学均匀性的测量精度则可达10-7；用干涉法可测量光学元件特征参数，用球面干涉仪测量球面曲率半径精度达1μm，测量球面面形精度为1/100λ；用干涉法测量平面面形精度为1/1000λ；用干涉法测量角度时测量精度可达0.05″以上；在光学薄膜厚度测试方面，用干涉法测厚的精度可达0.1nm；在光学系统成像质量检验方面，利用干涉法可测定光学系统的波像差，精度可达1/20λ，并可利用干涉图的数字化及后续处理解算出成像系统的点扩散函数、中心点亮度、光学传递函数以及各种单色像差。--在光学检验方面，干涉测量法是一种通用性很好的测量方法，适用于对材料、元件、系统等各种参量的检测；--干涉测量法在各种参数的测量中，均具有很高的测试灵敏度和准确度，是一种高精度的测量方法。实现干涉测量的仪器叫干涉仪。干涉仪有几种不同的分类方式：按光波分光方式的不同，可分为分振幅型和分波阵面型；按相干光束的传播途径，可分为共程干涉和非共程干涉；按用途不同分为静态干涉和动态干涉。其中静态测量通过测量被测波面与标准波面之间产生的干涉条纹分布及其变形量求得试样表面微观几何形状或波像差分布；动态测量通过测量干涉场上指定点的干涉条纹的移动或光程变化来求得试样的位移等。§4.1干涉测量基础若两支相干光的光强关系为：§3.1干涉测量基础§4.1干涉测量基础§4.1干涉测量基础§4.1干涉测量基础§4.1干涉测量基础§4.1干涉测量基础§3.1干涉测量基础§4.1干涉测量基础§4.1干涉测量基础18(3)光学元件面形偏差光学车间广泛采用玻璃样板来检验球面或平面光学元件的面形偏差。根据国家标准GB2831-81规定了光圈的识别办法，光圈识别应包括以下三个方面的内容：1.光圈数N：被检光学表面的曲率半径相对于参考光学表面曲率半径的偏差；名词解释：光圈即为等厚干涉测量中出现的牛顿环的数量。§4.1干涉测量基础§3.1干涉测量基础§4.1干涉测量基础§4.1干涉测量基础§4.1干涉测量基础§4.1干涉测量基础§4.1干涉测量基础§4.1干涉测量基础§4.1干涉测量基础§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.2泰曼干涉测量及斐索干涉测量§4.3移相干涉测量§4.3移相干涉测量§4.3移相干涉测量§4.3移相干涉测量§4.3移相干涉测量§4.3移相干涉测量§4.3移相干涉测量§4.4错位干涉测量§4.4错位干涉测量§4.4错位干涉测量§4.4错位干涉测量§4.4错位干涉测量§4.4错位干涉测量§4.4错位干涉测量§4.4错位干涉测量§4.4错位干涉测量§4.4错位干涉测量§4.4错位干涉测量§4.4错位干涉测量§4.4错位干涉测量§4.4错位干涉测量§4.4错位干涉测量第四章完