4-_精密和超精密加工的机床设备.ppt

2024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/15三、精密超精密机床类型和精度指标高精度：静态和动态精度主要部件的材料轴承工作台和刀架微进给（电致伸缩、磁致伸缩弹性元件等）闭环控制系统高刚度：受力变形对加工精度影响高稳定性：热导率低热膨胀系数小的材料做工作台、床身等基础零件液体淋浴或空气淋浴控制温度抗振性：材料隔离振源缩短传动链或改用柔性连接控制性能好：数控模块化设计2024/1/15主轴轴承2024/1/152024/1/152024/1/152024/1/15（1）轴承内圆柱面上等间隙地开有几个油腔（通常为4个）。（2）各油腔之间开有回油槽。（3）用过的油一部分从这些回油槽流回油箱（径向回油）另一部分则由两端流回油箱（轴向回油）。（4）油腔四周形成适当宽度的轴向封油面和周向封油面它们和轴颈之间的间隙一般为0.02～0.04mm。（5）油泵供油压力为ps油液经节流器T进入各油腔将轴颈推向中央油液最后经封油面流回油箱压力降低为零。（6）当主轴不受载荷且忽略自重时则各油腔的油压相同保持平衡轴在轴承正中心这时轴颈表面与各腔封油面之间的间隙相等均为h0。（7）当主轴受径向载荷（包括自重）F作用后轴颈向下移动产生偏心量e。（8）油腔3处的间隙减小为h0-e由于油液流过间隙小的地方阻力大流量减小因而流过节流器T3的流量减少压力损失随之减小（9）供油压力ps一定油腔3内的油压p3升高（10）油腔1处的间隙增大为h0＋e由于油液流过间隙大的地方阻力小流量增加因而流过节流器T1的流量增加压力损失亦随着增加所以油腔1内的油压p就降低这样油腔3与油腔1之间形成了压力Δp=p3-p1产生与载荷方向相反的托起力以平衡外载荷F。（11）如油腔的有效承载面积为A则轴承的承载能力为：F=A（p3-p1）（12）各油腔由同一个液压泵供油则每个油腔必须串联一个节流器。（13）没有节流器各油腔油压相同互相抵消就不能平衡外载荷了这时主轴产生位移甚至使轴颈与轴承表面接触（14）油腔压力是液压泵供给的与轴的转速无关。因此静压轴承可以在很低的转速下工作。2024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/152024/1/15