Nikon光刻机stepper维修手册.doc

修理操作前的各项准备工作1.1修理操作的先决条件1.2使用工具照明系统修理程序2.1超高压汞灯电源异常2.2照明均匀性异常和曝光功率减少硅片传输系统的修理程序3.1硅片传输系统的真空异常OF检测失灵3.3预对准工作异常3.4上下片臂定位不良（以上所有维修程序请参考微高公司提供的维修手册）修理操作前的各项准备工作1.1修理操作的先决条件能进行操作和精读检查可以使用示波器照度计等测量仪器注意事件：抽出电路板时，请先关断电源拿起电路板时请勿用手指接触链接点打开或关断控制单元电源时，先将控制计算机对的关闭对光学系统进行清洁解决时，请务必戴上洁净手套1.2使用工具使用工具一览表工具备注硅片镊子示波器需用品有两路以上输入，频带尽也许宽电路板调整用转插板清洁解决用布洁净手套或指套工业用显微镜水平仪分辨率达成2分注射器数字万用表测试掩模版塑料棒卷绕清洁用纸，作为棉球棒使用柔光照明灯六角起子，调整起子，十字起子需符合操作对象的螺栓螺母尺寸电位器调整起子专用起子消耗品一览表消耗品备注丙酮乙醇清洁用纸润滑脂PL-035润滑油Aero-shellFluidl2异丙醇（IPA）使用各种工具时，请注意以下事项：要参照使用说明书对示波器及时进行探测头校准，保持其精读，特别在更换探头时，请务必加以校准。松开或上紧螺栓螺母之类机件时，请使用尺寸合适的工具，且施力恰当，以免损坏机器。调整电位器，请注意方向，本文中标有CW时，按顺时针方向旋转，标CWW，按反时针方向旋转。照明系统修理程序凡涉及机械电气光学压力流量位置等调整时，请专业人士协助实行。否则后果自负。2.1超高压汞灯电源异常程序1：超高压汞灯电源操作面板的检查对外围室（净化室）前面的操作面板进行如下的检测：电源开关是否打开？触发开关是否打开？报警灯是否亮？程序2：超高压汞灯控制箱的检查。对外室上面的超高压汞灯控制箱进行如下检查：打开电源开关电源指示灯是否发亮风扇是否转动程序3：AC200V系统的检查打开外围室左侧后部的电控箱门，检查超高压汞灯电源的短路器是否处在通路状态。程序4：恒温器的更换方法工具：六角起子套件十字起子套件关闭操作面板上的电源开关，然后再关闭汞灯控制装置内的电源开关。约等30分钟，灯罩内达成足够冷冻状态。松开右侧1个十字螺钉灯罩左侧两个十字螺钉，取下灯罩盖。取下灯罩的盖子，用六角形起子将位于黑色板子上部的恒温器卸下。用十字起子卸开恒温器的布线，更换恒温器。将新的恒温器安装于黑色板上，装上灯罩盖注意：安装灯罩盖时，请不要夹住恒温器的接线。2.2照明均匀性异常和曝光功率减少程序1：照度的调整用A-9电路板的VR27(LAMP)调整程序2：超高压汞灯的安装位置调整安装超高压汞灯时，请交替上紧支撑机构侧面两个安装螺钉。单方上紧时，装斜后的调整范围狭窄。程序3：超高压汞灯的最佳位置调整调整超高压汞灯位置时，要使超高压汞灯的弧像投影到超高压汞灯监视器中心，但仅此还不能将其调到最佳位置。对超高压汞灯监视器始终要考虑开始调整的大体位置，上下左右调整，以探测最佳位置。探测照度功率的最大位置，在调整螺钉1的旋转过程中寻找最佳位置。硅片传输系统的修理程序3.1硅片传输系统的真空异常故障编码：61-67696AF8F9故障多次发生时，请联系专业人员，并告知一下事项：故障发生的频度发生故障的硅片是否受限定故障发生时硅片的状态故障发生之前，引起故障的工作臂在做什么样的动作程序1：供气压力检查检查供过给点真空压力，然后加以调整。在压力无异常时，检查内是否有真空泄漏之处。压缩气压（sup）真空压力（vac）用净化室前面的指示面板上的压力表检查指标：SUP：大于3kg/c㎡VAC：大于460mmhg程序2：检查硅片有无翘曲对发生故障的硅片做以下的检查：在出现真空异常之处的硅片有无翘曲硅片背面有无污染，是否付着有灰尘。程序3：硅片互换位置的调整工具：调正螺丝刀检查真空出现异常之处的硅片是否处在该处工作臂的中心位置，若明显偏离中心，即做调整。硅片交接位置不适当时，检查在何处发生位置偏差。1）以下表达各个工作臂在发生真空异常（detailcode：656668）上片时，检查取片臂的插入位置，取片臂从片架抽取硅片时，检查臂的真空面是否在硅片中心位置附近吸附硅片。当吸附不再中心位置附近时，调整内部传感器的位置。下片时，与横向滑动臂交接硅片时，检查取片臂的真空面是否在硅片的中心位置附近吸附硅片。若不在中心位置附近吸附，则调整外边的传感器。2）横向滑动臂真空异常（detailcode：6A）检查在各个臂交接硅片时，横向滑动臂是否在各个臂移动到其中心位置时停止。若各个臂不位于中心位置附近，则应调整相应臂位置上的位置检测传感器。此外，由联机部分接受硅片时，有必要对联机部分的位置检测传感器进行调整。3）of上/下臂的真空异常（detailc