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真空计培训资料.pdf

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真空测量仪器培训培训目的：.了解常用规管的工作原理.知道如何选择合适的规管.真空规管的故障诊断.真空规管的清洗维护.真空规管的调整校准.备件订购2内容.皮拉尼规(PSGandPCG).熱电离规(BPG400BCG450HPG400).冷电离规(PEG).显示器（VGC40X）3皮拉尼规PSG皮拉尼规型号：PSG400/SPSG050PSG500PSG100/101PCG400（复合规）3皮拉尼规管工作原理皮拉尼:热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系.5皮拉尼规管工作原理Heattransportthroughthegas:Heattransportthroughthegas:Pressure-dependent(Howmany)GasPressure-type-dependent-dependent(size)(Howmany)6皮拉尼规管工作原理气体的热传导与下列提条件有关:气体类型压力大小7皮拉尼规PSG---电气连接电气连接口FCC68接线:针1电源14~32V针2电源地针3测量信号输出针5信号地针68触点输出7皮拉尼规PSG---信号输出1输出电压范围:0-10.0V；2测量信号范围：1.9-10.0V；3灯丝故障：<0.5V；4输出电压与压力的关系式:(对数输出1.286V/量级)P=100.778(U-C)P:实际压力;U:输出电压;C:常数(mbar:6.143;Torr:6.304;Pa:3.572)例如:某规管测量的输出信号为6.14V那么实际压力为P=100.778(6.14-6.143)=1.0mbar9皮拉尼规PSG---维护1.清洗规管清洗步骤:1移开灯丝部分的挡板2加入酒精浸泡5分钟3倒出酒精放至干燥4安装挡板