一种带有减震机构的微动平台.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107591187A(43)申请公布日2018.01.16(21)申请号201710847619.X(22)申请日2017.09.19(71)申请人苏州迈客荣自动化技术有限公司地址215000江苏省苏州市相城经济开发区澄阳路116号(72)发明人钟博文孙立宁王振华(74)专利代理机构苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)32257代理人杨慧林(51)Int.Cl.G12B5/00(2006.01)G12B9/10(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种带有减震机构的微动平台(57)摘要本发明公开一种带有减震机构的微动平台，包括一矩形基座和设于基座内的运动平台、减震机构，基座上设有两驱动方向相互垂直的第一压电陶瓷驱动器与第二压电陶瓷驱动器，减震机构包括第一支撑板与第二支撑板，第一支撑板与第二支撑板之间设有第二弹簧，第二支撑板设于基座上，第一压电陶瓷驱动器与第二压电陶瓷驱动器分别通过螺钉与相对应的第一支撑板固定连接，基座的侧壁设有橡胶层，基座的底壁上设有防水层，第一弹簧的另一端抵持一位移放大机构。本申请通过在基座上设置减震机构可以减少外界振动对于微动平台的损坏，从而保证了微动平台的精密度，减小误差。CN107591187ACN107591187A权利要求书1/1页1.一种带有减震机构的微动平台，其特征在于：包括一矩形基座和设于所述基座内的运动平台，所述基座上设有两驱动方向相互垂直的第一压电陶瓷驱动器与第二压电陶瓷驱动器，所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的两端分别设有半球形的推力球，所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的其中一端抵持于第一弹簧的端部，所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的另一端分别对应设有减震机构，所述减震机构包括第一支撑板与第二支撑板，所述第一支撑板与所述第二支撑板之间设有第二弹簧，所述第二支撑板设于所述基座上，所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器分别通过螺钉与相对应的第一支撑板固定连接，所述基座的侧壁设有橡胶层，所述基座的底壁上设有防水层，所述第一弹簧的另一端抵持一位移放大机构。2.根据权利要求1所述的带有减震机构的微动平台，其特征在于：所述位移放大机构包括一三角形推板和设于所述三角形推板上的直角梯形板，所述三角形推板的斜边与所述直角梯形板的斜边滑动连接，所述直角梯形板与三角形推板滑动连接的接触面上设有一将所述三角形推板限制在接触面内的挡臂，所述挡臂沿所述直角梯形板的斜边的长度方向设置，所述三角形推板具有第一直角边与第二直角边，所述第一直角边的长度小于所述第二直角边的长度，所述直角梯形板具有上底与下底，所述上底的长度小于所述下底的长度，所述第一直角边与所述上底位于同一侧，所述第二直角边与所述下底位于同一侧。3.根据权利要求1所述的带有减震机构的微动平台，其特征在于：所述基座上设有两相互垂直的矩形凹槽，所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器分别设于对应的凹槽内。4.根据权利要求1所述的带有减震机构的微动平台，其特征在于：所述推力球为橡胶片。5.根据权利要求1所述的带有减震机构的微动平台，其特征在于：所述第一弹簧的内径小于所述推力球的外径。6.根据权利要求1所述的带有减震机构的微动平台，其特征在于：所述基座上还设有压电陶瓷信号线出口，所述基座上端设有微动平台端盖，微动平台端盖通过螺栓与基座连接。2CN107591187A说明书1/3页一种带有减震机构的微动平台技术领域[0001]本发明涉及先进制造中的微操作技术领域，更具体地，涉及一种带有减震机构的微动平台。背景技术[0002]近年来，随着科学技术和工业技术的不断进步，微电子制造、超精密机械制造、微机器人操作、精密测量光学仪器及生物医学操作等领域飞速发展，迫切需要能够在纳米级精度上进行定位和操作的系统和装备。在这些领域中，具有纳米精度的微动平台是其核心部件，其研究倍受国内外学者的青睐。传统的机械结构，如电机、齿轮、铰链等由于受到装配及运动间隙、摩擦、阻尼等因素的影响，无法达到纳米精度，而以压电陶瓷作为驱动器，广泛应用于具有纳米精度的微动平台。[0003]目前基于放大机构的微动平台具有传动不精密、误差大、由于外界发生的撞击对于压电陶瓷驱动器的损坏，并且在被损坏的情况下继续工作，对传动精度由极大的影响。发明内容[0004]为解决上述技术问题，本发明的目的是提供一种带有减震机构的微动平台。[0005]本发明的一种带有减震机构的微动平台，其特征在于：包括一矩形基座和设于所述基座内的运动平台，所述基座上设有两驱动方向相互垂直的第一压电陶瓷驱动器与第二压电陶瓷驱动器，所述第一压电陶瓷驱动器与所述第二压电陶瓷驱动器的两