磁传感器灵敏度匹配校准.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109633505A(43)申请公布日2019.04.16(21)申请号201811166873.4(22)申请日2018.10.08(30)优先权数据17195165.02017.10.06EP(71)申请人迈来芯科技有限公司地址比利时特森德洛(72)发明人S·休伯林登贝格尔J·毕尔巴鄂德蒙迪扎巴尔(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人李炜黄嵩泉(51)Int.Cl.G01R35/00(2006.01)权利要求书3页说明书15页附图9页(54)发明名称磁传感器灵敏度匹配校准(57)摘要本发明提供了磁传感器灵敏度匹配校准。磁传感器装置包括：具有表面的衬底；第一磁传感器，设置在表面上的、表面上方的或与表面直接接触的第一位置处，第一磁传感器检测磁场；第二磁传感器，设置在表面上的、表面上方的或与表面直接接触的第二位置处，第二位置与第一位置不同，第二磁传感器检测磁场；一个或多个电感器，设置在衬底的表面上方，并且被定位为向第一磁传感器和第二磁传感器提供磁场；和磁传感器控制器，具有用于控制第一磁传感器、第二磁传感器和一个或多个电感器的控制电路；其中控制电路包括适于以下操作的电路：控制第一磁传感器和第二磁传感器测量相应的磁场，并控制一个或多个电感器提供相应的磁场；计算相对灵敏度匹配值。CN109633505ACN109633505A权利要求书1/3页1.一种磁传感器装置(99)，包括：具有表面的衬底(10)；第一磁传感器(A)，设置在所述表面上的、所述表面上方的或与所述表面直接接触的第一位置处，所述第一磁传感器(A)检测磁场；第二磁传感器(B)，设置在所述表面上的、所述表面上方的或与所述表面直接接触的第二位置处，所述第二位置与所述第一位置不同，所述第二磁传感器(B)检测磁场；一个或多个电感器(20)，设置在所述衬底的表面上方，并且被定位为向所述第一磁传感器(A)和所述第二磁传感器(B)提供磁场；以及磁传感器控制器(40)，具有用于控制所述第一磁传感器(A)、所述第二磁传感器(B)和所述一个或多个电感器(20)的控制电路(42)；其中所述控制电路(42)包括适于以下操作的电路：控制所述第一磁传感器(A)测量第一磁场(A1)，并且控制所述一个或多个电感器(20)提供第五磁场；控制所述第一磁传感器(A)测量第三磁场(A2)，并且控制所述一个或多个电感器(20)提供第六磁场；控制所述第二磁传感器(B)测量第二磁场(B1)，并且控制所述一个或多个电感器(20)提供所述第五磁场；控制所述第二磁传感器(B)测量第四磁场(B2)，并且控制所述一个或多个电感器(20)提供所述第六磁场；计算相对灵敏度匹配值(S)，所述相对灵敏度匹配值(S)将由所述第一磁传感器(A)测量的磁场值(A1、A2)转换成由所述第二磁传感器(B)测量的可比磁场值(B1、B2)，或者将由所述第二磁传感器(B)测量的磁场值(B1、B2)转换成由所述第一磁传感器(A)测量的可比磁场值(A1、A2)。2.根据权利要求1所述的磁传感器装置(99)，其中所述电感器(20)是线圈(25)、螺线管或直导体。3.根据前述权利要求中任一项所述的磁传感器装置(99)，其中所述第五磁场或所述第六磁场为零，或者其中所述第五磁场和所述第六磁场具有相反的极性，或者其中所述第五磁场和所述第六磁场具有共同的幅度。4.根据前述权利要求中任一项所述的磁传感器装置(99)，其中所述控制电路(42)包括适于以下操作的电路：控制所述第一磁传感器(A)测量第一环境磁场(A3)；控制所述第二磁传感器(B)测量第二环境磁场(B3)；用所述相对灵敏度匹配值(S)校正所述第二磁传感器(B)的环境磁场测量值以形成校正的测量值；以及组合所述第一磁传感器(A)的环境磁场测量值和校正的环境磁场测量值以形成磁场测量值。5.根据权利要求4所述的磁传感器装置(99)，其中所述控制电路(42)包括其适于以下操作的电路：在所述电路控制所述第二磁传感器(B)测量环境磁场(B3)的同时控制所述第一磁传感器(A)测量环境磁场(A3)。6.根据权利要求3所述的磁传感器装置(99)，其中所述控制电路(42)包括适于以下操作的电路：控制所述一个或多个电感器(20)提供具有正向极性的磁场并控制所述第一磁传感器(A)测量包括所述正向极性的磁场的环境磁场；控制所述一个或多个电感器(20)提供2CN109633505A权利要求书2/3页具有反向极性的磁场并控制所述第一磁传感器(A)测量包括所述反向极性的磁场的环境磁场；然后通过组合两个测量值计算除了由所述一个或多个电感器(20)提供的任何场以外的环境磁场。7.根据前述权利要求中任一项所述的磁传感器装置(99)，其中所述控制电路