一种硅片称重机构、称重装置及在线称重方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111584384A(43)申请公布日2020.08.25(21)申请号202010411191.6(22)申请日2020.05.15(71)申请人苏州迈为科技股份有限公司地址215200江苏省苏州市吴江经济开发区庞金路1801号庞金工业坊D02幢(72)发明人夏伟陆瑜(74)专利代理机构江苏瑞途律师事务所32346代理人王珒(51)Int.Cl.H01L21/66(2006.01)H01L21/677(2006.01)G01G13/24(2006.01)G01G13/00(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图4页(54)发明名称一种硅片称重机构、称重装置及在线称重方法(57)摘要本发明公开了一种硅片称重机构、称重装置及在线称重方法，属于太阳能电池生产领域。本发明的称重机构，包括壳体，以及位于壳体内的第一输送机构和称重件，第一输送机构能够将硅片放置在称重件上；壳体上设有供硅片进出于壳体的缺口，以及能够遮盖缺口的挡板，第一输送机构与挡板可传动地连接，因而当硅片通过缺口进入壳体内之后，第一输送机构能够驱使挡板将缺口遮盖，从而能够在称重过程中降低环境的干扰，降低所得重量数据的波动程度，进而提高所得重量数据的精确度。本发明的称重装置，以及利用该称重装置进行在线称重的方法，其称重过程快速、方便。CN111584384ACN111584384A权利要求书1/1页1.一种硅片称重机构，包括称重件(340)，以及能够将硅片(500)放置在所述称重件(340)上的第一输送机构(330)；其特征在于：还包括壳体(301)，所述称重件(340)和第一输送机构(330)设置在所述壳体(301)内；所述壳体(301)上设有供所述硅片(500)进出于所述壳体(301)的缺口(303)，以及能够遮盖所述缺口(303)的挡板(320)，所述第一输送机构(330)与所述挡板(320)可传动地连接。2.根据权利要求1所述的一种硅片称重机构，其特征在于：所述第一输送机构(330)通过升降的方式驱使所述挡板(320)相对于所述缺口(303)滑动。3.根据权利要求2所述的一种硅片称重机构，其特征在于：所述第一输送机构(330)包括安装座(335)，以及用于驱使所述安装座(335)沿第一方向升降的第一顶升件(332)；所述挡板(320)通过联动带(322)与所述安装座(335)连接。4.根据权利要求3所述的一种硅片称重机构，其特征在于：所述壳体(301)上设有导轨(321)，所述导轨(321)沿第一方向设置，所述挡板(320)通过滑块滑动连接在所述导轨(321)上。5.根据权利要求4所述的一种硅片称重机构，其特征在于：所述导轨(321)上设有弹性件，所述弹性件用于对所述滑块进行复位。6.根据权利要求3～5中任一项所述的一种硅片称重机构，其特征在于：所述安装座(335)上设置有第一传送带(331)，以及用于驱使所述第一传送带(331)运转的第一驱动电机(334)，所述第一传送带(331)沿第二方向设置。7.根据权利要求1所述的一种硅片称重机构，其特征在于：所述壳体(301)的外侧壁上设有调整机构(310)，所述调整机构(310)用于调节载有所述硅片(500)的硅片载具(400)的角度和位置。8.根据权利要求7所述的一种硅片称重机构，其特征在于：所述调整机构(310)包括两个夹片固定座(311)，以及驱使两个所述夹片固定座(311)相互靠近的夹片气缸(312)；所述夹片固定座(311)的位置与所述缺口(303)位置相对应。9.一种硅片称重装置，包括输送机构(200)和称重机构(300)，所述输送机构(200)包括沿第三方向设置的第二输送机构(220)，以及沿第二方向设置的第三输送机构(230)，所述第二输送机构(220)上运送有硅片载具(400)，所述硅片载具(400)载有硅片(500)；其特征在于：所述称重机构(300)为权利要求1～8中任一项所述的称重机构，所述第三输送机构(230)能够沿第一方向运动，以将所述硅片载具(400)运送至所述缺口(303)处。10.根据权利要求9所述的一种硅片称重装置，其特征在于：所述第二输送机构(220)的第二传送带(221)形成有避让口(224)，所述第三输送机构(230)的第三传送带(231)至少有一部分能够处在所述避让口(224)之内。11.一种利用权利要求9或10所述的称重装置进行硅片在线称重的方法，其特征在于：称重前后，用于运送硅片(500)的第一输送机构(330)带动设置在壳体(301)上的挡板(320)同步运动，以控制所述壳体(301)上供所述硅片(500)进出的缺口(303)的打开/关闭。2CN111584384A说明书1/7页一种硅片称