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铝钕合金旋转溅射靶材及其制备方法.pdf
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淑然****by
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本发明涉及一种铝钕合金旋转溅射靶材及其制备方法。铝钕合金旋转溅射靶材包括本体，本体的最外层为氧化层，本体包括溅射端和分别位于溅射端两边的安装端，溅射端与安装端为一体成型。上述铝钕合金旋转溅射靶材中，一方面，溅射端与安装端为一体成型，这样能够避免焊接质量不良影响溅射效果；另一方面，本体的最外层为氧化层，保证了本体具有足够的硬度，从而不易损坏。上述整体使得本发明的铝钕合金旋转溅射靶材有利于应用。
2024-01-09
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