衍射光学元件及光学设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113325503A(43)申请公布日2021.08.31(21)申请号202110604615.5(22)申请日2021.05.31(71)申请人江西欧迈斯微电子有限公司地址330096江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道699号(72)发明人鞠晓山冯坤亮李宗政(74)专利代理机构广州德科知识产权代理有限公司44381代理人林玉旋万振雄(51)Int.Cl.G02B5/18(2006.01)G02B27/42(2006.01)权利要求书2页说明书12页附图7页(54)发明名称衍射光学元件及光学设备(57)摘要本发明公开了一种衍射光学元件及光学设备，衍射光学元件包括：第一结构层、第二结构层、以及第三结构层。第一结构层具有第一折射率，第二结构层设于第一结构层上，第二结构层具有第二折射率，第二折射率大于第一折射率，第二结构层形成有第一衍射部，第三结构层具有第三折射率，第三折射率小于第二折射率，第三结构层设于第二结构层背离第一结构层的一侧。本申请的衍射光学元件，通过设置第一结构层、第二结构层以及第三结构层，并使第二结构层的第二折射率大于第一结构层的第一折射率以及第三结构层的第三折射率，使光线在穿过衍射光学元件的过程中，能够在第二结构层内产生法布里珀罗共振效应，衍射光学元件的衍射效率高。CN113325503ACN113325503A权利要求书1/2页1.一种衍射光学元件，其特征在于，所述衍射光学元件包括：第一结构层，所述第一结构层具有第一折射率；第二结构层，所述第二结构层设于所述第一结构层上，所述第二结构层具有第二折射率，所述第二折射率大于所述第一折射率，所述第二结构层形成有第一衍射部；以及第三结构层，所述第三结构层具有第三折射率，所述第三折射率小于所述第二折射率，所述第三结构层设于所述第二结构层背离所述第一结构层的一侧。2.根据权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，所述第一衍射部形成于所述第二结构层的朝向所述第三结构层的一侧，所述第三结构层的朝向所述第二结构层的一侧形成有第二衍射部，所述第二衍射部与所述第一衍射部相互配合；和/或所述第一衍射部形成于所述第二结构层的朝向所述第一结构层的一侧，所述第一结构层的朝向所述第二结构层的一侧形成有第三衍射部，所述第三衍射部与所述第一衍射部相互配合。3.根据权利要求2所述的衍射光学元件，其特征在于，所述第一衍射部包括多个间隔排列的第一凸起，所述第二衍射部包括多个间隔排列的第二凸起，各所述第二凸起分别贴合于相邻的各所述第一凸起；和/或所述第一衍射部包括多个间隔排列的第三凸起，所述第三衍射部包括多个间隔排列的第四凸起，各所述第四凸起分别贴合于相邻的各所述第三凸起。4.根据权利要求1‑3任一所述的衍射光学元件，其特征在于，沿所述第一结构层向所述第三结构层的方向上，所述第一结构层的厚度d1为250um‑400um，所述第二结构层的厚度d2为2.0um‑4.3um，所述第三结构层的厚度d3为2.0um‑4.2um，所述第一衍射部的厚度d4为1.3um‑1.5um。5.根据权利要求1‑3任一所述的衍射光学元件，其特征在于，所述第一折射率为1.4‑1.5，所述第二折射率为1.6‑1.75，所述第三折射率为1.3‑1.55。6.根据权利要求1‑3任一所述的衍射光学元件，其特征在于，所述第二结构层包括多个子结构层，所述第二折射率包括多个子折射率，沿所述第一结构层向所述第三结构层的方向上，多个所述子结构层依次叠设，所述子结构层具有所述子折射率，相邻的两个所述子结构层具有的所述子折射率的大小不相同。7.根据权利要求6所述的衍射光学元件，其特征在于，相邻的两个所述子结构层中，各所述子结构层均设有所述第一衍射部，且相邻的两个所述子结构层上的所述第一衍射部相互配合。8.根据权利要求6所述的衍射光学元件，其特征在于，沿所述第一结构层向所述第三结构层的方向上，多个所述子结构层具有的所述子折射率的分布呈梯度折射率分布。9.根据权利要求6所述的衍射光学元件，其特征在于，位于中间的所述子结构层为中间层，沿所述中间层向所述第一结构层的方向上，以及沿所述中间层向所述第三结构层的方向上，各所述子结构层的所述子折射率逐渐减小。10.根据权利要求1‑3任一所述的衍射光学元件，其特征在于，所述第二结构层与所述第一结构层之间，和/或，所述第二结构层与所述第三结构层之间设有功能层，所述功能层用于提升所述第二结构层与所述第一结构层之间的界面朝向所述第二结构层的一侧，或所述第二结构层与所述第三结构层之间的界面朝向所述第二结构层的一侧的光反射率。2CN113325503A权利要求书2/2页11.根据权利要求1‑3任一所述的衍射光学元件，其特征在于，所述第一衍射部形成