具有迷宫式密封结构的旋转装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113136569A(43)申请公布日2021.07.20(21)申请号202011475088.4(22)申请日2020.12.14(71)申请人芯三代半导体科技（苏州）有限公司地址215000江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏慕路104号S栋(72)发明人施建新蒲勇(51)Int.Cl.C23C16/458(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称具有迷宫式密封结构的旋转装置(57)摘要本发明公开了一种具有迷宫式密封结构的旋转装置，包括：具有反应腔的反应器、旋转轴、旋转盘、支撑筒、石墨托盘和加热组件，加热组件包括加热器、电极板和电极；密封板，设置在电极板的下端；其中，密封板与旋转盘之间形成第一迷宫密封结构，旋转盘与反应器的底壁之间形成第二迷宫密封结构。本发明通过在电极板的下端设置密封板，密封板与旋转盘之间形成第一迷宫密封结构，旋转盘与反应器的底壁之间形成第二迷宫密封结构，从而可以避免沉积物从密封板与旋转盘之间的间隙以及从旋转盘与反应器的底壁之间的间隙进入旋转机构内部而造成旋转机构的损坏。CN113136569ACN113136569A权利要求书1/2页1.一种具有迷宫式密封结构的旋转装置，其特征在于，包括：具有反应腔的反应器；旋转轴，绕自身轴线可转动地设置，所述旋转轴的一端伸至所述反应腔内；旋转盘，设置在所述旋转轴伸至所述反应腔内的一端；支撑筒，设置在所述旋转盘上；石墨托盘，设置在所述支撑筒上；加热组件，设置在所述支撑筒内且位于所述石墨托盘的下方，包括加热器、电极板和电极，所述加热器设置在所述电极板的一侧，所述电极设置在所述电极板的另一侧且穿过所述旋转轴的中心孔；密封板，设置在所述电极板的下端；其中，所述密封板与所述旋转盘之间形成第一迷宫密封结构，所述旋转盘与所述反应器的底壁之间形成第二迷宫密封结构。2.根据权利要求1所述的具有迷宫式密封结构的旋转装置，其特征在于，所述第一迷宫密封结构包括相互配合设置的多个第一环形凸起和多个第一环形凹槽，多个所述第一环形凸起沿所述旋转轴的直径方向间隔设置且设置于所述密封板和所述旋转盘中的一个，多个所述第一环形凹槽沿所述旋转轴的直径方向间隔设置且设置于所述密封板和所述旋转盘中的另一个，每个所述第一环形凸起伸入对应的所述第一环形凹槽内使得所述密封板和所述旋转盘之间形成第一蛇形通道。3.根据权利要求2所述的具有迷宫式密封结构的旋转装置，其特征在于，多个所述第一环形凹槽设置于所述密封板的下表面，多个所述第一环形凸起设置于所述旋转盘的上表面。4.根据权利要求3所述的具有迷宫式密封结构的旋转装置，其特征在于，所述旋转盘的上表面和所述密封板的下表面之间的间隙大于所述第一环形凸起与对应的所述第一环形凹槽之间的间隙。5.根据权利要求2所述的具有迷宫式密封结构的旋转装置，其特征在于，所述第一蛇形通道靠近所述旋转轴的一端设置有第一进气口，气体由所述第一进气口进入所述第一蛇形通道并朝向所述第一蛇形通道远离所述旋转轴的一端流动。6.根据权利要求1所述的具有迷宫式密封结构的旋转装置，其特征在于，所述第二迷宫密封结构包括相互配合设置的多个第二环形凸起和多个第二环形凹槽，多个所述第二环形凸起沿所述旋转轴的直径方向间隔设置且设置于所述反应器的底壁和所述旋转盘中的一个，多个所述第二环形凹槽沿所述旋转轴的直径方向间隔设置且设置于所述反应器的底壁和所述旋转盘中的另一个，每个所述第二环形凸起伸入对应的所述第二环形凹槽内使得所述反应器的底壁和所述旋转盘之间形成第二蛇形通道。7.根据权利要求6所述的具有迷宫式密封结构的旋转装置，其特征在于，多个所述第二环形凹槽设置于所述旋转盘的下表面，多个所述第二环形凸起设置于所述反应器的底壁的内侧。8.根据权利要求7所述的具有迷宫式密封结构的旋转装置，其特征在于，所述反应器的底壁的内侧和所述旋转盘的下表面之间的间隙大于所述第二环形凸起与对应的所述第二环形凹槽之间的间隙。2CN113136569A权利要求书2/2页9.根据权利要求6所述的具有迷宫式密封结构的旋转装置，其特征在于，所述第二蛇形通道靠近所述旋转轴的一端设置有第二进气口，气体由所述第二进气口进入所述第二蛇形通道并朝向所述第二蛇形通道远离所述旋转轴的一端流动。10.根据权利要求1所述的具有迷宫式密封结构的旋转装置，其特征在于，所述第一迷宫密封结构和所述第二迷宫密封结构均包括外筒和内筒，所述外筒套设于所述内筒的外侧，所述外筒的内侧壁设置有多个第三环形凹槽，多个所述第三环形凹槽沿所述外筒的轴向间隔设置，所述内筒的外侧壁设置有多个第三环形凸起，多个所述第三环形凸起沿所述内筒的轴向间隔设置，每个所述第三环形凸起伸至对应的所述