实验二钢的淬火回火工艺及组织与性能.ppt

实验二一、实验目的二、实验内容三、实验仪器设备和材料四、实验原理五、实验方法和步骤六、实验报告要求七、实验注意事项八、思考题一、实验目的二、实验内容三、实验仪器设备和材料直流辉光放电PECVD沉积系统示意图主要组件：真空室组件、直流电源、基片水冷加热台、窗口及法兰接口部件、工作气路、抽气机组（机械泵和分子泵）、阀门及管道、真空测量及电控系统。四、实验原理４.1化学气相沉积制备薄膜介绍：（１）气体放电：（２）气体放电的伏安特性曲线：（３）等离子体增强化学气相沉积（PECVD）：在低压化学气相沉积过程的同时利用气体放电产生等离子体并对沉积过程施加影响的薄膜制备技术。（５）直流辉光放电PECVD沉积原理：４.３类金刚石薄膜介绍：（2）类金刚石薄膜结构：性能五、实验方法和步骤（6）真空度达到所需要的本底真空度后关闭分子泵机械泵仍然工作。打开气瓶开始通入Ar和CH4或C2H2气体通过质量流量控制器控制Ar/CH4或Ar/C2H2的比例。六、实验报告要求七、实验注意事项八、思考题北京工业大学薄膜材料与技术实验室http://qmlab.bjut.edu.cn电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室http://www.etfid.uestc.edu.cn/大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室http://mmlab.dlut.edu.cn/lab-tecn.htm北京科技大学高技术薄膜材料研究室http://www.ustb.edu.cn/materials/kxyj/f1.mht吉林大学超硬材料国家重点实验室http://nlshm-lab.jlu.edu.cn/index.html广州有色金属研究院材料表面工程研究所http://www.gzse.com/index.htmThinFilmTechnologyResearchCenterKoreaInstituteofScienceandTechnologySeoulhttp://diamond.kist.re.kr/DLCCenterofSuper-DiamondandAdvancedFilms(COSDAF)CityUniversityofHongKonghttp://www.cityu.edu.hk/cosdafPlasmalaboratoryCityUniversityofHongKonghttp://www.cityu.edu.hk/ap/plasmaNanofilmTechnologiesInternationalPteLtdSingaporehttp://www.nanofilm.com.sg/index.htmPlasmaPhysicsLaboratoryUniversityofSaskatchewanCanadahttp://plasma.usask.ca/pmpfacilities.phpInstituteforMaterialsResearchUniversityofHasseltBelgiumhttp://www.imo.uhasselt.be/wbgm/research4.htmElectronicDevicesandMaterialsUniversityofCambridgeUKhttp://www-g.eng.cam.ac.uk/edm/research/index.php