预览加载中，请您耐心等待几秒...

基本光刻工艺全息解析（PPT37页).ppt

预览
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲，该文档总共37页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～

下载提示 文本预览

如果您无法下载资料，请参考说明：

1、部分资料下载需要金币，请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档，再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压，在使用对应软件打开

第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－1－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－2－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－3－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－4－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－5－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－6－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－7－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－2－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－9－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－10－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－11－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－12－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－13－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－14－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－15－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－16－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－17－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－18－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－19－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－20－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－21－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－22－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－23－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－24－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－25－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－26－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－27－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－28－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－29－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－30－粒子束刻蚀粒子束刻蚀也是干法刻蚀的一种与化学等离子体刻蚀不同的是粒子束刻蚀是一个物理工艺。如图所示晶园在真空反应室内被置于固定器上并且向反应室导入氩气流。氩气进入反应室便受到从一对阴阳极来的高能电子束流的影响。电子将氩原子离子化成带正电荷的高能状态。由于晶园位于接负极的固定器上从而氩离子便被吸向固定器。在移动的同时被加速以提高能量。在晶园表面上它们轰击进入暴露的晶园层并从晶园表面炸掉一小部分从而达到刻蚀的目的。第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－32－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－33－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－34－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－35－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－36－第九章基本光刻工艺------从曝光到最终检验－38－