LCD制程工艺知识简介.ppt
霞英****娘子
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LCD工艺流程简介工艺流程光刻玻璃投入工序作用:玻璃的清洗与干燥:用清洗剂以及去离子水(DI水)等洗净ITO玻璃,并用物理或者化学的方法将ITO表面的杂质和油污洗净,然后把水除去并干燥,保证下道工艺的加工质量。涂胶曝光显影刻蚀脱膜形成ITO图案过程图形检测(PATTERNCHECK)激光修复(LASERREPAIR)成盒段主要工序TOP工序:一般的TN与STN产品不要求此步骤,TOP膜的涂布工艺是在光刻工艺之后再做一次SiO2的涂布,以此把刻蚀区与非刻蚀区之间的沟槽填平并把电极覆盖住,这既可以起到绝缘层的
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