CMOS工艺中的元件及版图.pdf

CMOS工艺中的元件邹志革HuazhongUniversityofScienceandTechnologyWuhanChinaEST-ICC感谢李福乐博士为本课件提供的资料！CMOS集成电路中的元件•MOS晶体管–版图和结构–电特性–隔离–串联和并联•连线•集成电阻•集成电容•寄生二极管和三级管邹志革EST-ICC2CMOS集成电路中元件•MOS晶体管•连线–连线寄生模型–寄生影响•集成电阻•集成电容•寄生二极管和三级管邹志革EST-ICC3CMOS集成电路中元件•MOS晶体管•连线•集成电阻–多晶硅电阻–阱电阻–MOS电阻–导线电阻•集成电容•寄生二极管和三级管邹志革EST-ICC4CMOS集成电路中元件•MOS晶体管•连线•集成电阻•集成电容–多晶硅-扩散区电容–双层多晶硅电容–MOS电容–多层“夹心”电容•寄生二极管和三级管邹志革EST-ICC5CMOS集成电路中的元件•MOS晶体管•连线•集成电阻•集成电容•寄生二极管和三级管–衬底PNPBJT–PSD/NWELLDiode–NSD/P-epiDiode邹志革EST-ICC6MOS晶体管•MOS晶体管–最基本的有源元件–在CMOS工艺中有PMOS和NMOS两种–可用作跨导元件开关有源电阻MOS电容邹志革EST-ICC7MOS晶体管•NMOS晶体管的DGSB版图和结构WDLGBNMOS晶体管版图GSDSBFOXFOXNMOS晶体管符号NN＋＋NN＋＋P＋N管源漏区邹志革EST-ICC8NMOS晶体管剖面图MOS晶体管•PMOS晶体管的BSGD版图和结构WDLGBPMOS晶体管版图SBSGDPMOS晶体管符号FOXFOXNN＋＋P＋P＋NNN---阱阱阱P管源漏区PP--substratesubstrate邹志革EST-ICC