静电电容式触摸屏面板及其制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102156596A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102156596A(43)申请公布日2011.08.17(21)申请号201010610152.5(22)申请日2010.12.22(30)优先权数据10-2010-00126172010.02.11KR10-2010-00567162010.06.15KR12/774,2172010.05.05US(71)申请人乐金显示有限公司地址韩国首尔(72)发明人郑江燮姜熙光安秀昌黄相守(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司11006代理人徐金国钟强(51)Int.Cl.G06F3/044(2006.01)权利要求书3页说明书19页附图33页(54)发明名称静电电容式触摸屏面板及其制造方法(57)摘要本发明公开了一种静电电容式触摸屏面板及其制造方法，所述触摸屏面板包括位于电极形成部位中的多个第一电极连接图案。多条第一和第二路径布线在路径布线形成部位中，路径布线与第一电极连接图案设置在同一层上。绝缘层形成在基板上以及第一电极连接图案上方，具有暴露多个第一电极连接图案的一部分的至少两个接触孔。多个第一连续电极平行布置在第一方向上并且分别与多条第一路径布线连接。多个第二连续电极平行布置在第二方向上，配置成与所述第一连续电极交叉，且分别与多条第二路径布线连接。多个第一电极连接图案的每一个通过至少两个接触孔连接每个第一连续电极的相邻电极元件。CN102569ACCNN110215659602156599A权利要求书1/3页1.一种触摸屏面板，包括：基板，包括电极形成部位和路径布线形成部位，所述路径布线形成部位位于所述电极形成部位外侧的区域；在所述电极形成部位中的多个第一电极连接图案；均在所述路径布线形成部位中的多条第一路径布线和多条第二路径布线，所述路径布线与所述第一电极连接图案设置在同一层上；绝缘层，形成在所述基板上以及所述第一电极连接图案上方，所述绝缘层具有用于暴露所述多个第一电极连接图案的每一个的接触部分的至少两个接触孔；多个第一连续电极，在第一方向上平行布置并且分别与所述多条第一路径布线连接；每个第一连续电极包括多个第一电极元件；多个第二连续电极，在第二方向上平行布置并且配置成与所述第一连续电极交叉；第二连续电极分别与所述多条第二路径布线连接；每个第二连续电极包括多个第二电极元件；以及其中所述多个第一电极连接图案的每一个通过各自的可透过所述至少两个接触孔接触到的接触部分连接每个第一连续电极的相邻电极元件。2.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中所述多个第一连接图案和多条第一和第二路径布线由Al、AlNd、Cu、CuOx、Ag、Mo、MoTi和Cr中的一种形成。3.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中所述绝缘层包括氮化硅，并且具有至的厚度。4.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中所述多个第一连续电极和多个第二连续电极包括透明导电材料。5.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中所述多个第一连接图案的每一个具有至的厚度以及3μm至10μm的宽度。6.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中所述多个第一和第二电极元件的每一个具有至的厚度。7.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中由所述多个第一电极元件的部分填充在多个接触孔中的部分形成凹陷。8.一种形成触摸屏面板的方法，包括如下步骤：在与多个第一电极连接图案相同的层上形成包括多条第一路径布线和多条第二路径布线的第一导电图案；在基板和所述第一电极连接图案上形成绝缘层，所述绝缘层具有用于暴露所述第一电极连接图案的接触部分的至少两个接触孔；形成包括多个第一和第二连续电极的第二导电图案，并且将各个第一连续电极与相应的第一路径布线电连接，将各个第二连续电极与相应的第二路径布线电连接，其中所述第二连续电极与所述第一连续电极交叉，但不电连接；以及其中每个第一连续电极包括通过至少两个接触孔利用各自的接触部分彼此电连接的多个第一电极元件。9.如权利要求8所述的方法，其中形成所述第一导电图案包括通过沉积工艺在基板上2CCNN110215659602156599A权利要求书2/3页沉积第一导电层，并且使用第一掩模利用光刻工艺和蚀刻工艺，通过对所述第一导电层构图来形成多个第一连接图案、多条第一路径布线以及多条第二路径布线；形成所述绝缘层包括通过沉积工艺形成绝缘层，并且使用第二掩模利用光刻工艺和蚀刻工艺形成用于暴露所述第一连接图案的接触部分的多个接触孔；以及形成所述第二导电图案包括通过沉积工艺在其中形成有所述多个接触孔的所述绝缘层上沉积第二导电层，并且使用第三掩模利用光刻工艺和蚀刻工艺对所述第二导电层构图来形成多个第一连续电极和多个第二连续电极。10.一种触摸屏面板，包括：基板，包括电极形成部位和路径布线形成部位，所述路