触摸屏及其制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102375635102375635B(45)授权公告日2014.11.12(21)申请号201010622430.9第2段，附图18-19.US2010/0026661A1,2010.02.04,全文.(22)申请日2010.12.23CN101699378A,2010.04.28,全文.(30)优先权数据审查员史佳鹏10-2010-00796892010.08.18KR(73)专利权人乐金显示有限公司地址韩国首尔(72)发明人辛承穆(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司11006代理人徐金国赵静(51)Int.Cl.G06F3/044(2006.01)(56)对比文件EP1986084A1,2008.10.29,全文.CN201298221Y,2009.08.26,说明书第2段至第2段，附图5.CN101324827A,2008.12.17,说明书第5-8段，附图4.CN101441545A,2009.05.27,说明书权权利要求书2页利要求书2页说明书9页说明书9页附图12页附图12页(54)发明名称触摸屏及其制造方法(57)摘要一种触摸屏面板的制造方法包括第一工序、第二工序以及第三工序。多个第一电极串中的每一个第一电极串包括彼此分开的多个第一电极图案，相邻的第一电极图案经第一连接图案彼此电连接，以及第一绝缘图案在第一电极串和第二电极串的交叉区域使第一电极串和第二电极串电绝缘。CN102375635BCN1023756BCN102375635B权利要求书1/2页1.一种电容触摸屏面板的制造方法，包括：第一工序，通过所述第一工序，将第一导电层和第二导电层形成在基板的表面上，使用半色调光掩模形成第一光刻胶图案，以及使用所述第一光刻胶图案形成包括分别由所述第一导电层形成的多个第一连接图案的第一导电图案和由所述第一和第二导电层形成的多条布线和多个焊盘；第二工序，通过所述第二工序，将绝缘层形成在配备有所述第一导电图案的所述基板上，并且对所述绝缘层制作图案以暴露所述第一连接图案的两端和所述焊盘，从而形成第一绝缘图案；以及第三工序，通过所述第三工序，将第三导电层形成在配备有所述第一绝缘图案的所述基板上，并且对所述第三导电层制作图案以形成包括沿第一方向平行排列的多个第一电极串的彼此分开的多个第一电极图案和沿与所述第一方向交叉的第二方向平行排列的多个第二电极串的第二导电图案，其中所述多个第一电极串中的每一个第一电极串包括多个所述第一连接图案和多个所述第一电极图案，并且相邻的第一电极图案分别经所述第一连接图案的暴露的两端彼此电连接，其中所述多个第二电极串中的每一个第二电极串包括多个第二连接图案和多个第二电极图案，并且相邻的第二电极图案分别经所述第二连接图案彼此电连接；以及其中在所述第一电极串和所述第二电极串的交叉区域，所述第一绝缘图案使所述第一电极串和所述第二电极串彼此电绝缘，其中所述第一工序包括：在所述基板的表面上形成所述第一导电层和所述第二导电层；使用所述半色调光掩模形成具有第一高度的第一光刻胶图案的第一子光刻胶图案和具有比所述第一高度高的第二高度的第一光刻胶图案的第二子光刻胶图案，在所述第二导电层上的将要形成所述第一连接图案的位置处设置所述第一子光刻胶图案，以及在所述第二导电层上的将要形成所述布线和所述焊盘的位置处设置所述第二子光刻胶图案；通过使用所述第一子光刻胶图案和所述第二子光刻胶图案作为光掩模，曝光并显影所述第一导电层和所述第二导电层，以及通过蚀刻来去除在没有所述第一子光刻胶图案和所述第二子光刻胶图案的那些部分处的所述第一导电层和所述第二导电层；灰化所述第一子光刻胶图案和所述第二子光刻胶图案，从而去除在将要形成所述多个第一连接图案的位置处设置的所述第一子光刻胶图案；通过使用从在所述第二导电层上的将要形成所述布线和所述焊盘的位置处的所述第二子光刻胶图案减小了高度的残余的第三子光刻胶图案作为光掩模，由蚀刻去除在将要形成所述第一连接图案的位置处的所述第二导电层，从而形成所述第一连接图案；以及去除所述残余的第三子光刻胶图案，其中所述第一导电层和第三导电层由透明导电材料制成，并且其中所述第二导电层由金属材料制成。2.如权利要求1所述的方法，其中在通过蚀刻来去除在没有所述第一子光刻胶图案和所述第二子光刻胶图案的那些部分处的所述第一导电层和所述第二导电层之后，所述第一导电层和所述第二导电层被过蚀刻以具有底切结构。2CN102375635B权利要求书2/2页3.如权利要求1至2中任一所述的方法，其中所述第二工序包括：在配备有所述第一导电图案的所述基板上形成所述绝缘层；将第二光刻胶图案设置在所述绝缘层上的形成所述布