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年第期导弹与航天运载技术.总第期文章编号:———惯性仪表技术发展趋势王巍何胜中国航天时代电子公司北京摘要:近几十年来随着微电子技术的发展和微机械加工设备的完善和精度的提高以单晶硅、石英晶体等材料研制的各种微型惯性仪表及其系统产品相继问世它与传统的机械式惯性仪表相比体积大为缩小质量大为减轻功耗大幅度降低:采用微机械工艺可以实现大批量生产故价格低廉;如果采用与兼容的工艺方式配套电路还可以和微敏感结构集成一体化惯性仪表具有可靠性高、承载能力强和测量范围大的特点;这些是传统机械式惯性器件无法比拟的。重点概述了近年来国内外微机电加速度计、微机电陀螺仪及其系统应用技术的发展情况探讨了惯性技术下一步发展趋势。关键词:微机电;惯性技术;陀螺仪中图分类号:文献标识码::