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饱和水蒸汽的压力与温度的关系(摘自范仲元:"水和水蒸气热力性质图表"p4~10)温度℃水蒸气压力MPa相应真空度MPa220.002640.09869240.002980.09835260.003360.09797280.003780.09755300.004240.09709320.004750.09658340.005320.09601360.005940.09539380.006620.09471400.007380.09395温度℃水蒸气压力MPa相应真空度MPa420.008200.09313440.009100.09223460.010090.09124480.011160.09017500.012340.08899520.013610.08772540.015000.08633560.016510.08482580.018150.08318600.019920.08141温度℃水蒸气压力MPa相应真空度MPa620.021840.07949640.023910.07742660.026150.07518680.028560.07277700.031160.07017720.033960.06737740.036960.06437760.040190.06114780.043650.05768800.047360.05397温度℃水蒸气压力MPa相应真空度MPa820.051330.05000840.055570.04576860.060110.04122880.064950.03638900.070110.03122920.075610.02572940.081460.01987960.087690.01364980.094300.007031000.101330温度℃水蒸气压力MPa1020.108781040.116681060.125041080.133901100.143271120.153161140.163621160.174651180.186281200.19854温度℃水蒸气压力MPa1220.211451240.225041260.239331280.254351300.270131320.278311340.304071360.322291380.341381400.36138真空计算常用公式1、玻义尔定律体积V压强PP·V=常数(一定质量的气体当温度不变时气体的压强与气体的体积成反比。即P1/P2=V2/V1)2、盖·吕萨克定律当压强P不变时一定质量的气体其体积V与绝对温度T成正比:(V1/V2=T1/T2=常数)当压强不变时一定质量的气体温度每升高(或P降低)1℃则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。3、查理定律当气体的体积V保持不变一定质量的气体压强P与其他绝对温度T成正比即:P1/P2=T1/T2在一定的体积下一定质量的气体温度每升高(或降低)1℃它的压强比原来增加(或减少)1/273。4、平均自由程:λ=(5×10-3)/P(cm)5、抽速:S=dv/dt(升/秒)或S=Q/PQ=流量(托·升/秒)P=压强(托)V=体积(升)t=时间(秒)6、通导:C=Q/(P2-P1)(升/秒)7、真空抽气时间:对于从大气压到1托抽气时间计算式:t=8V/S(经验公式)(V为体积S为抽气速率通常t在5~10分钟内选择。)8、维持泵选择:S维=S前/109、扩散泵抽速估算:S=3D2(D=直径cm)10、罗茨泵的前级抽速:S=(0.1~0.2)S罗(l/s)11、漏率:Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)Q漏-系统漏率(mmHg·l/s)V-系统容积(l)P1-真空泵停止时系统中压强(mmHg)P2-真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)t-压强从P1升到P2经过的时间(s)12、粗抽泵的抽速选择:S=Q1/P预(l/s)S=2.3V·lg(Pa/P预)/tS-机械泵有效抽速Q1-真空系统漏气率(托·升/秒)P预-需要达到的预真空度(托)V-真空系统容积(升)t-达到P预时所需要的时间Pa-大气压值(托)13、前级泵抽速选择:排气口压力低于一