预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共20页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103791922103791922A(43)申请公布日2014.05.14(21)申请号201210419654.9(22)申请日2012.10.29(71)申请人北京嘉岳同乐极电子有限公司地址100083北京市海淀区信息路甲28号科实大厦B座10层A-1(72)发明人时启猛刘乐杰曲炳郡(51)Int.Cl.G01D5/12(2006.01)权权利要求书3页利要求书3页说明书9页说明书9页附图7页附图7页(54)发明名称磁传感器芯片及其制作方法(57)摘要本发明提供一种磁传感器芯片及其制作方法。磁传感器芯片包括基板、磁敏感薄膜对以及薄膜焊盘,所述磁敏感薄膜对和所述薄膜焊盘设置在所述基板的表面,所述磁敏感薄膜对由所述薄膜焊盘电性连接,所述磁敏感薄膜对的钉扎方向相同,而且相邻所述磁敏感膜内电流的流向相反。该磁传感器芯片降低了磁感应薄膜对的差异,从而提高了磁传感器的灵敏性和分辨率。CN103791922ACN103792ACN103791922A权利要求书1/3页1.一种磁传感器芯片,包括基板、磁敏感薄膜对以及薄膜焊盘,所述磁敏感薄膜对和所述薄膜焊盘设置在所述基板的表面,所述磁敏感薄膜对由所述薄膜焊盘电性连接,其特征在于,所述磁敏感薄膜对的钉扎方向相同,而且相邻所述磁敏感膜内电流的流向相反。2.根据权利要求1所述的磁传感器芯片,其特征在于,包括一对所述磁敏感薄膜对、电压输入薄膜焊盘、接地薄膜焊盘、信号输出薄膜焊盘和导线,借助所述导线、所述电压输入薄膜焊盘、接地薄膜焊盘、信号输出薄膜焊盘将所述第一磁感应膜和所述第二磁感应膜连接成惠斯通半桥电路。3.根据权利要求2所述的磁传感器芯片,其特征在于,所述电压输入薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的尾端,所述信号输出薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的首端和第二磁感应膜的首端,所述接地薄膜焊盘设置在第二磁感应膜的尾端;或者,所述电压输入薄膜焊盘设置在第二磁感应膜的尾端,所述信号输出薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的首端和第二磁感应膜的首端,所述接地薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的尾端;或者,所述电压输入薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的首端,所述信号输出薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的尾端和第二磁感应膜的尾端,所述接地薄膜焊盘设置在第二磁感应膜的首端;或者,所述电压输入薄膜焊盘设置在第二磁感应膜的首端,所述信号输出薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的尾端和第二磁感应膜的尾端,所述接地薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的首端。4.根据权利要求1所述的磁传感器芯片,其特征在于,包括两对相互平行设置的所述磁敏感薄膜对、电压输入薄膜焊盘、接地薄膜焊盘、第一信号输出薄膜焊盘、第二信号输出薄膜焊盘以及导线,利用所述导线和所述电压输入薄膜焊盘、接地薄膜焊盘、第一信号输出薄膜焊盘、第二信号输出薄膜焊盘将所述两对磁敏感薄膜对连接成惠斯通全桥电路。5.根据权利要求4所述的磁传感器芯片,其特征在于,第一信号输出薄膜焊盘设置在所述第一磁感应膜的首端和第四磁感应膜的首端,第二信号输出薄膜焊盘设置在所述第二磁感应膜的尾端和第三磁感应膜的尾端,电压输入薄膜焊盘设置在所述第一磁感应膜的尾端和第二磁感应膜的首端,接地薄膜焊盘设置在所述第四磁感应膜的尾端和第三磁感应膜的首端;或者,第一信号输出薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的首端和第四磁感应膜的首端,第二信号输出薄膜焊盘设置在所述第二磁感应膜的尾端和第三磁感应膜的尾端,电压输入薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的尾端,接地薄膜焊盘设置在第三磁感应膜的首端,第二磁感应膜的首端与第四磁感应膜的尾端电性连接;或者,第一信号输出薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的尾端和第四磁感应膜的尾端,第二信号输出薄膜焊盘设置在第二磁感应膜的尾端和第三磁感应膜的尾端,电压输入薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的首端,接地薄膜焊盘设置在第二磁感应膜的首端,第三磁感应膜的首端与第四感应薄膜的首端电性连接;或者,第一信号输出薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的尾端和第三磁感应膜的首端,第二信号输出薄膜焊盘设置在第二磁感应膜的首端和第四感应薄膜的尾端,电压输入薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的首端,接地薄膜焊盘设置在第四感应薄膜的首端,第二磁感应膜的尾端2CN103791922A权利要求书2/3页与第三磁感应膜的尾端电性连接;或者,第一信号输出薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的尾端和第四磁感应膜的尾端,第二信号输出薄膜焊盘设置在第二磁感应膜的尾端和第三磁感应膜的尾端,电压输入薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的首端,接地薄膜焊盘设置在第三磁感应膜的首端,而且,第四磁感应膜的首端与第二感应薄膜的首端电性连接;或者,第一信号输出薄膜焊盘设置在第一磁感应膜的尾端和第四磁感应膜的尾端,第二信号输出薄膜焊盘设置在第二磁感应膜