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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108258126A(43)申请公布日2018.07.06(21)申请号201810085908.5(22)申请日2018.01.29(71)申请人芜湖乐知智能科技有限公司地址241000安徽省芜湖市经济技术开发区银湖波尔卡国际花园78-5-301(72)发明人晋佳佳(51)Int.Cl.H01L51/44(2006.01)H01L51/42(2006.01)H01L51/48(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种基于无机钙钛矿的光电探测器及其制备方法(57)摘要本发明属于光电探测技术领域,具体为一种基于无机钙钛矿的光电探测器及其制备方法,所述无机钙钛矿的光电探测器的制备包括以下步骤:步骤S1、提供一ITO透明导电衬底,并对ITO透明导电衬底清洗和预处理;步骤S2、在ITO透明导电衬底上制备阳极修饰层,步骤S3、在阳极修饰层上制备PbBr2层,步骤S4、制备CsPbBr3无机钙钛矿光敏层等步骤。本发明可以有效提高CsPbBr3无机钙钛矿光电探测器的探测率和寿命。CN108258126ACN108258126A权利要求书1/1页1.一种无机钙钛矿的光电探测器的制备方法,其特征在于:所述无机钙钛矿的光电探测器的制备包括以下步骤:步骤S1、提供一ITO透明导电衬底,并对ITO透明导电衬底清洗和预处理;步骤S2、在ITO透明导电衬底上制备阳极修饰层,首先采用旋转涂布的方法在ITO透明导电衬底上生长一层PEDOT:PSS第一阳极修饰层,然后将长有PEDOT:PSS衬底转移至真空镀膜机中,在真空度小于10-4Pa条件下,通过真空热沉积的方法生长一层SubPc第二阳极修饰层,SubPc第二阳极修饰层的厚度为5-10nm;步骤S3、在阳极修饰层上制备PbBr2层,配制浓度为0.8M的PbBr2的二甲基甲酰胺(DMF)溶液,并用聚四氟乙烯过滤器进行过滤,获得澄清的PbBr2的DMF溶液,采用旋转涂布的方法将PbBr2的DMF溶液旋涂于阳极修饰层之上,旋转涂覆过程中,控制匀胶机的转速在3000rpm,旋转涂敷时间为30-50s,PbBr2旋涂完毕后,将长有PbBr2的衬底放置到70℃的加热板上,退火处理30分钟;步骤S4、制备CsPbBr3无机钙钛矿光敏层,使用烧杯配置浓度为10mg/ml的CsBr的甲醇溶液100ml,加热至50℃并保持,然后将长有PbBr2的衬底放入100ml的10mg/ml的CsBr的甲醇溶液中浸泡,浸泡时间为10分钟,浸泡过程中,每分钟滴加0.1ml的浓度为10mg/ml的聚乙二醇(PEG)的二甲基甲酰胺(DMF)溶液,浸泡完成后取出并用异丙醇溶液冲洗,使用干燥的氮气吹干后,在90℃的加热板上退火20分钟完成CsPbBr3无机钙钛矿光敏层的制备;步骤S5、将长有CsPbBr3无机钙钛矿光敏层的衬底转移至真空镀膜机中,在真空度小于10-4Pa条件下,通过真空热沉积的方法依次生长一层C60第一阴极修饰层和一层Bphen第二阴极修饰层,最后在阴极修饰层上沉积一层Al作为反射电极完成探测器器件的制备。2.根据权利要求1所述的一种无机钙钛矿的光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤S1透明导电基底进行清洗和预处理的方法为,把透明基底依次放入20%氢氧化钠水溶液、丙酮、乙醇和异丙醇中进行超声清洗,每次超声10min,超声完毕后置于120℃的烘箱中20分钟进行烘干,然后紫外臭氧处理10min待用。3.根据权利要求1所述的一种无机钙钛矿的光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤S2中PEDOT:PSS第一阳极修饰层的厚度在30-50nm。4.根据权利要求1所述的一种无机钙钛矿的光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤S3中聚四氟乙烯过滤器的孔径不大于0.2微米。5.根据权利要求1所述的一种无机钙钛矿的光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤S4其中选用的PEG的分子量为20000道尔顿。6.根据权利要求1所述的一种无机钙钛矿的光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤S5中C60第一阴极修饰层、Bphen第二阴极修饰层和Al反射电极的厚度依次为20-50nm,5-10nm和100-1000nm。7.一种根据权利要求1所述的制备方法制备的光电探测器。2CN108258126A说明书1/5页一种基于无机钙钛矿的光电探测器及其制备方法技术领域[0001]本发明属于光电探测技术领域,具体为一种基于无机钙钛矿的光电探测器及其制备方法。背景技术[0002]光电探测器在医疗、军事以及通讯等方面应用广泛。近年来,钙钛矿电探测器因其制备方法简单、成本低廉、重量轻、可制备成柔性器件等突出优点近年来受到广泛的关注。无机钙钛矿CsPbBr3材料具