差分探头、探测装置和制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110446922A(43)申请公布日2019.11.12(21)申请号201880020322.9(74)专利代理机构北京泛华伟业知识产权代理有限公司1(22)申请日2018.04.041280代理人胡强许峰(30)优先权数据102017107708.12017.04.10DE(51)Int.Cl.G01N27/90(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2019.09.23(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2018/0585362018.04.04(87)PCT国际申请的公布数据WO2018/189000DE2018.10.18(71)申请人普乐福尼克迪特布什有限责任公司地址德国伊斯曼宁(72)发明人B·富克斯洛克J·彼得斯权利要求书1页说明书6页附图2页(54)发明名称回路(15，16，17)以这样的取向形成，与在制成的差分探头、探测装置和制造方法第二探头半部(9，21)中的取向相比围绕平行于(57)摘要偏移方向的旋转轴线旋转180°，平面电路板(22)本发明涉及差分探头(7，19)，具有第一探头被分开且第一子部段(23)和第二子部段(24)彼半部(8，20)和第二探头半部(9，21)，该差分探头此分离。第二子部段(24)邻近第一子部段(23)布具有至少一对导体回路，其具有第一探头半部置，其中使第二导体回路(15，16，17)处于其在制(8，20)的第一导体回路(11，12，13)和第二探头成的第二探头半部(9，21)中的取向并将第一子半部(9，21)的第二导体回路(15，16，17)，其第一部段(23)和第二子部段(24)互相连接。导体回路(11，12，13)和第二导体回路(15，16，17)彼此相对成镜像形成且关于镜像布置位于镜面的对应两侧，第一导体回路(11，12，13)和第二导体回路(15，16，17)平行于镜面取向并沿同样平行于镜面的偏移方向彼此相对偏移布置，第一导体回路(11，12，13)和第二导体回路(15，16，17)在镜面法向上部分重叠。为了制造差分探头(7，19)，第一导体回路(11，12，13)形成在平面电路板(22)的第一子部段(23)中，第二导体回路(15，16，17)在平面电路板(22)的第二子部段(24)形成在一个对应于在制成的差分探头(7，19)中所述第二导体回路(15，16，17)相对于第一CN110446922A导体回路(11，12，13)的偏移的位置处，第二导体CN110446922A权利要求书1/1页1.一种差分探头(7，19)，其具有第一探头半部(8，20)和第二探头半部(9，21)，包括至少一对导体回路，所述至少一对导体回路具有所述第一探头半部(8，20)的第一导体回路(11，12，13)和所述第二探头半部(9，21)的第二导体回路(15，16，17)，所述至少一对导体回路的所述第一导体回路(11，12，13)和第二导体回路(15，16，17)彼此相互成镜像形成并关于镜像布置位于镜面的对应两侧，其中所述第一导体回路(11，12，13)和所述第二导体回路(15，16，17)平行于镜面取向并在同样平行于镜面的偏移方向上相互偏移布置，其中所述第一导体回路(11，12，13)和所述第二导体回路(15，16，17)在镜面法向上部分重叠。2.根据权利要求1所述的差分探头(7，19)，其具有多对导体回路，其中全部的第一导体回路(11，12，13)彼此对齐，并且全部的第二导体回路(15，16，17)彼此对齐。3.根据权利要求1或2所述的差分探头(7，19)，其中所述第一导体回路(11，12，13)和所述第二导体回路(15，16，17)具有平行于该偏移方向构成的各自笔直的导体部段。4.根据前述权利要求中任一项所述的差分探头(7，19)，其中由所述第一导体回路(11，12，13)界定的第一表面和由所述第二导体回路(15，16，17)界定的第二表面在镜面法向上部分重叠或是间断的。5.一种探测装置(1)，具有至少一个根据前述权利要求中任一项所述的差分探头(7，19)，所述探测装置包括用于试件(6)的至少一个贯通开口(3)，所述差分探头(7，19)能围绕所述试件旋转，其中在所述差分探头(7，19)的旋转过程中，所述贯通开口(3)的中心轴线基本平行于镜面延伸或者在镜面内延伸。6.根据权利要求5所述的探测装置(1)，其中两个以上的差分探头(7，19)围绕所述贯通开口(3)以基本相同的角度间隔布置。7.根据权利要求5或6所述的探测装置(1)，其中至少两个所述差分探头(7，19)沿移位方向彼此相邻布置。8.一种用于制造根据权利要求1至4中任一项所述的差分探头(7，19)的方法，其中，所述第一导体回路(11，12