一种判断N型TOPcon电池烧结工艺匹配性的方法、N型TOPcon电池及制备方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115985801A(43)申请公布日2023.04.18(21)申请号202310103557.7(51)Int.Cl.(22)申请日2023.02.13H01L21/66(2006.01)H01L31/18(2006.01)(71)申请人英利能源发展（保定）有限公司H01L31/068(2012.01)地址072150河北省保定市满城区建业路003号高技术服务产业园研究中心2层申请人英利能源发展有限公司(72)发明人王静吝占胜李青娟陈晨刘伟张东升李志彬李倩刘莉丽魏双双张红妹王志国刘新玉张雷程立威刘彩凤刘雪蛟(74)专利代理机构河北国维致远知识产权代理有限公司13137专利代理师墨伟权利要求书1页说明书5页(54)发明名称一种判断N型TOPcon电池烧结工艺匹配性的方法、N型TOPcon电池及制备方法(57)摘要本发明设计太阳能电池技术领域，具体公开了一种判断N型TOPcon电池烧结工艺匹配性的方法、N型TOPcon电池及制备方法。所述判断方法包括如下步骤：取完成硼扩散工艺的硅片测试方块电阻R；取烧结前后硅片分别测试理想电压IVOC和开路电压VOC；判断IVOC‑VOC是否小于预设值A(0.17R‑1.5)，若是，则判定烧结工艺匹配，否则为不匹配。本发明提供的判断方法，不需投入额外资金购买测试设备，节约资金且方便快捷，能够快速判断烧结工艺是否匹配，可以实现直观量化的准确判断，解决了寻找电池效率低原因负责，耗时耗力的问题，有效降低了低效电池的产生，节约生产成本，有利于改善电池效率，推广应用价值极高。CN115985801ACN115985801A权利要求书1/1页1.一种判断N型TOPcon电池烧结工艺匹配性的方法，其特征在于，包括如下步骤：S1，取完成硼扩散工艺的硅片，进行方块电阻R测试；S2，取待烧结硅片，进行理想电压IVOC测试；烧结工艺结束后，取烧结后的硅片，进行开路电压VOC测试；S3，判断IVOC‑VOC的差值是否小于预设值A，若是，则判定烧结工艺匹配；否则调整烧结工艺后再进入步骤S2；其中，预设值A＝0.17R‑1.5，方块电阻R的单位为Ω，理想电压和开路电压的单位为mV。2.如权利要求1所述的判断N型TOPcon电池烧结工艺匹配性的方法，其特征在于，步骤S1中，所述方块电阻R为60Ω‑180Ω。3.如权利要求1所述的判断N型TOPcon电池烧结工艺匹配性的方法，其特征在于，步骤S2中，采用少子寿命测试仪测试理想电压，采用IV测试仪测试开路电压。4.如权利要求3所述的判断N型TOPcon电池烧结工艺匹配性的方法，其特征在于，少子寿命测试仪的具体测试条件为：若少子寿命≤50μs，光强度设置为55sum，无需滤光片；若50μs＜少子寿命≤200μs，光强度设置为35sum，2张浅色滤光片；若200μs＜少子寿命≤800μs，光强度设置为7.5sum，1张深色滤光片；若少子寿命＞800μs，光强度设置为4.5sum，2张浅色滤光片和1张深色滤光片。5.如权利要求1所述的判断N型TOPcon电池烧结工艺匹配性的方法，其特征在于，步骤S2中，烧结工艺的烘干区的温度为300℃，烧结区分为6个温区，第一温区的温度为620℃，第二温区的温度为650℃，第三温区的温度为670℃，第四温区的温度为710℃，第五温区的温度为740℃，第六温区的温度为850℃。。6.一种N型TOPcon电池的制备方法，其特征在于：包括权利要求1‑5任一项所述的N型TOPcon电池烧结工艺匹配性的方法，还包括选取所述烧结工艺匹配条件下制备的硅片用于制作N型TOPcon电池。7.一种N型TOPcon电池，其特征在于，由权利要求6所述的N型TOPcon电池的制备方法制备得到。2CN115985801A说明书1/5页一种判断N型TOPcon电池烧结工艺匹配性的方法、N型TOPcon电池及制备方法技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种判断N型TOPcon电池烧结工艺匹配性的方法、N型TOPcon电池及制备方法。背景技术[0002]近年来，太阳能电池中的隧穿氧化钝化接触(TunnelOxidePassivationContact，TOPCon)电池，以其优异的钝化性能备受大家的青睐。TOPcon电池的核心在于背面超薄的隧穿氧化层以及重掺杂的多晶硅层，超薄氧化硅可有效减少表面态保持较低隧穿电阻，掺杂多晶硅提供场致钝化并对载流子选择性透过，与硅基底形成良好的钝化接触，从而提高电池的转换效率。TOPcon电池制造工序的最后一步工序是丝网印刷和烧结，是通过炉带传输通过高温炉体实现。炉带在进料区运载印刷完成后的电池片通过高温炉体烧结后，电池片传送至出料区，而炉带则是通过烧结炉下方传输回进