纳流体测试器件的制备方法.pdf

一种纳流体测试器件的制备方法，包括：在衬底上生长一层电热绝缘材料层和基底材料层；去除基底材料层的四边，形成图形作为制备侧墙的基底；在该电热绝缘材料层的上面和基底材料层的表面及侧面淀积侧墙材料层；去除基底材料层上表面和电热绝缘材料层表面的侧墙材料层，形成侧墙；去除基底材料层，只保留纳米尺寸的侧墙；在该侧墙材料层的一条边上搭上一条制作电极的抗腐蚀的金属层；在电热绝缘材料层及金属层上制备一层制作纳流体通道的抗腐蚀绝缘材料层；抛光表面，去除金属层上面的抗腐蚀绝缘材料层；再用湿法腐蚀方法去除剩余的侧墙材料层形成纳流

2023-11-26

10

603KB

一种新颖的微纳流体器件制造方法与痕量富集应用.docx

一种新颖的微纳流体器件制造方法与痕量富集应用一种新颖的微纳流体器件制造方法与痕量富集应用摘要：本文介绍了一种新颖的微纳流体器件制造方法，利用微纳米加工技术，先将流道和微结构芯片加工出来，再采用一种新颖方法将两者粘合。所得的微纳流体器件具有微尺寸、高精度、快速响应和良好的可控性的特点，已经得到广泛应用。同时，我们将上述微纳流体器件应用于痕量富集方面，提出了一种新的方法。在微纳结构芯片中，进行固相萃取，通过蒸发浓缩的方法，使有机物浓缩在一个极小的区域内。然后，我们再使用所制备的微纳流体器件进行痕量富集，将有机

2024-11-02

5

12KB

基于激光直写技术的新型微纳器件制备方法研究.docx

基于激光直写技术的新型微纳器件制备方法研究随着微纳技术的不断发展，微纳器件制备方法也日渐多样化。其中，基于激光直写技术的微纳器件制备方法受到越来越多的关注和重视。该技术是利用激光束通过光刻技术进行控制与加工，得到具有微小尺寸、高精度、高可靠性的微纳器件。激光直写技术具有以下优点：首先，激光束的特性使得其能够实现高精度、高速度和非接触的加工过程，从而可以实现快速、高效的微纳器件制备；其次，激光加工可以完成多种材料的加工，包括有机材料、无机材料、半导体材料等，具有较好的通用性；此外，激光光束焦点的微小尺寸和高

2024-10-25

5

10KB

基于激光直写技术的新型微纳器件制备方法研究的中期报告.docx

基于激光直写技术的新型微纳器件制备方法研究的中期报告本项目旨在研究基于激光直写技术的新型微纳器件制备方法，通过使用激光器将光束集中在样品表面进行直接写入，制备出高精度的微纳结构。在前期的研究中，我们首先建立了实验室内的激光直写系统，并对其进行了调试和优化。然后，我们选取了几种常见的材料作为样品进行实验，包括金属、半导体和聚合物等。通过对不同材料的实验，我们发现了微纳结构的制备具有很大的挑战性。尤其是对于聚合物这种容易受到激光热效应影响的材料，在制备高精度结构方面存在一定的困难。为了解决这一问题，我们进行了

2024-09-19

5

10KB

一种薄膜铌酸锂表面制备微纳器件的方法.pdf

本发明公开了一种薄膜铌酸锂表面制备微纳器件的方法，包括：在清洗、烘干后的薄膜铌酸锂衬底的上、下表面分别形成铬膜，作为上表面的掩膜和下表面的保护层；将光刻板图形转移到上表面掩膜上，而后将衬底放入质子交换炉中进行质子交换；将质子交换后的衬底冷却后，使用保护材料对衬底四周进行密封；将密封后的薄膜铌酸锂衬底放入氢氟酸和硝酸的混合溶液中进行湿法刻蚀；去除上表面的掩膜、下表面的保护层以及四周的密封，将衬底划片解理后使用化学机械抛光工艺进行端面处理。本发明采用质子交换工艺结合湿法工艺对薄膜铌酸锂材料刻蚀以制备微纳器件，

2023-06-15

10

891KB