高纯钽中痕量杂质的测定方法.pdf
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高纯钽中痕量杂质的测定方法.pdf
本发明涉及一种高纯钽中多个痕量杂质的测定方法,其步骤包括(1)配制钽样品溶液,其中钽样品含量为1~5g/L,HF为1~5vol%,硝酸为0.3~0.8vol%;(2)连接离子色谱、膜去溶装置和ICP-MS三装置,将制备好的样品溶液由浓缩泵泵入离子色谱的阳离子交换柱5分钟,杂质元素形成的阳离子吸附在交换柱,而基体钽形成的TaF72-或TaOF52-流经柱子不上柱,用氢氟酸淋洗交换柱,将柱子上残留的基体淋洗干净,启动联机工作程序,用硝酸洗脱吸附在阳离子交换柱(磺酸型阳离子交换柱)上的杂质,随同试样做空白试验。
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