液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103832073103832073A(43)申请公布日2014.06.04(21)申请号201310592278.8B41J2/16(2006.01)(22)申请日2013.11.22(30)优先权数据2012-2565622012.11.22JP(71)申请人精工电子打印科技有限公司地址日本千叶县千叶市(72)发明人堀口悟史久保田禅堂前美德(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司72001代理人肖日松李婷(51)Int.Cl.B41J2/045(2006.01)B41J2/14(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书10页说明书10页附图12页附图12页(54)发明名称液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法(57)摘要本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。提供使促动器基板的喷出槽方向的长度缩短以小型化，并且提高背面磨削时的加工强度以能够以较高的成品率进行制造的液体喷射头。本发明的液体喷射头具备：促动器基板，其被由压电体构成的细长的壁分隔，交替地排列从上表面贯通至下表面的细长的喷出槽和细长的非喷出槽；盖板，其设置于促动器基板的上表面，具有与喷出槽的一侧连通的第一狭缝和与喷出槽的另一侧连通的第二狭缝；以及喷嘴板，其设置于促动器基板的下表面，具有连通于喷出槽的喷嘴。非喷出槽的另一侧端部延伸至促动器基板的外周端，在外周端附近形成在底部残留促动器基板的底面抬高部。CN103832073ACN103827ACN103832073A权利要求书1/2页1.一种液体喷射头，具备：促动器基板，其被由压电体构成的细长的壁分隔，交替地排列从上表面贯通至下表面的细长的喷出槽和细长的非喷出槽，所述非喷出槽从所述促动器基板的一侧的外周端近前延伸至另一侧的外周端，在另一侧的所述外周端附近形成在底部残留所述促动器基板的底面抬高部。2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其中，在所述壁的面向所述喷出槽的两侧面沿所述壁的长度方向带状地设置公用电极，在所述壁的面向所述非喷出槽的两侧面沿所述壁的长度方向设置带状的有源电极，所述有源电极与所述底面抬高部的上表面相比设置于上方。3.根据权利要求2所述的液体喷射头，其中，所述有源电极从所述非喷出槽的一侧端部近前设置至另一侧的所述外周端。4.根据权利要求2或3所述的液体喷射头，其中，所述非喷出槽的一侧端部具有从所述非喷出槽开口于下表面的下表面开口上切至开口于上表面的上表面开口的倾斜面，所述有源电极的一侧端部与所述倾斜面的面上的如下地点相比位于另一侧，所述地点为所述有源电极的下端的深度。5.根据权利要求1～3中的任一项所述的液体喷射头，具备：盖板，其设置于所述促动器基板的上表面，具有与所述喷出槽的一侧连通的第一狭缝、和与所述喷出槽的另一侧连通的第二狭缝；以及喷嘴板，其设置于所述促动器基板的下表面，具有连通于所述喷出槽的喷嘴。6.根据权利要求5所述的液体喷射头，其中，所述公用电极从所述喷出槽的所述第一狭缝所开口的位置设置至另一侧端部。7.根据权利要求1～3中的任一项所述的液体喷射头，其中，所述底面抬高部的上表面比所述喷出槽的深度的约1/2深。8.根据权利要求6所述的液体喷射头，其中，所述喷嘴板的材料与所述盖板的材料相比刚性较低。9.一种液体喷射装置，具备：权利要求1所述的液体喷射头；使所述液体喷射头与被记录介质相对地移动的移动机构；对所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及对所述液体供给管供给所述液体的液体储罐。10.一种液体喷射头的制造方法，具备以下工序：在压电体基板交替地并列形成喷出槽和非喷出槽，在所述非喷出槽中较浅地磨削其另一侧端部以作为底面抬高部的槽形成工序；以覆盖所述喷出槽以及所述非喷出槽的一侧端部的方式设置掩模的掩模设置工序；通过斜向蒸镀法将导电体堆积于所述压电体基板的导电体堆积工序；对所述导电体进行图案形成以形成电极的电极形成工序；将盖板设置于所述压电体基板的上方的盖板设置工序；以及将喷嘴板设置于所述压电体基板的下方的喷嘴板设置工序。2CN103832073A权利要求书2/2页11.根据权利要求10所述的液体喷射头的制造方法，在所述槽形成工序之后，具有磨削与形成所述喷出槽以及所述非喷出槽的一侧为相反侧的所述压电体基板并使所述非喷出槽从上表面贯通至下表面的压电体基板磨削工序。12.根据权利要求11所述的液体喷射头的制造方法，其中，所述喷嘴板设置工序是将所述喷嘴板设置于所述压电体基板的下表面的工序。3CN103832073A说明书1/10页液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法技术领域[0001]本发明涉及将液滴喷出并记录于被记录介质的液体喷射头、液体喷射装置以