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一种膜转印设备、转印版组件、转印设备吸附力控制装置.pdf
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梦影****主a
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一种膜转印设备、转印版组件、转印设备吸附力控制装置.pdf
本发明提供一种膜转印设备、转印版组件、转印设备吸附力控制装置，所述膜转印设备包括用于向待转印膜层的基板转印一膜层的转印版、用于承载所述基板的基台；所述膜转印设备还包括：吸附力控制单元，在转印过程中作用于所述基板和/或转印版中的至少一个，以增大所述基板对从转印版转移出的成膜物质的第一吸附力与所述转印版对所述成膜物质产生的第二吸附力之差。发明提供的膜转印设备、转印版组件、转印设备吸附力控制装置能够通过简单、成本低的方法减少转印成膜过程中的残留、颗粒现象。
2023-11-22
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2023-10-13
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