可控温加热式传送腔及其工艺装置和控温加热方法.pdf
fa****楠吖
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可控温加热式传送腔及其工艺装置和控温加热方法.pdf
一种可控温加热式传送腔,包括:第一传送手臂,设置在所述可控温加热式传送腔内,并用于将晶圆从所述可控温加热式传送腔内传送至所述工艺反应腔室内;控温加热装置,进一步包括:加热装置,设置在所述可控温加热式传送腔之内壁,且与外界电源电连接;控温装置,与所述加热装置电连接,并用于控制所述加热装置之加热温度;具有过温断路器和高温熔断器的输电线路,设置在所述加热装置、所述控温装置,以及所述外界电源之间。通过本发明可控温加热式传送腔和气闸不仅可实现晶圆在工艺反应腔室和外界大气压腔室之间的进入或退出时温度渐变,利于残留气体
可控温电加热保健便鞋.pdf
本发明设计了一种温度可控的电加热保健便鞋。其特征在于:温度可控功能可以依照不同用户的需要来设置鞋内的温度,并通过数码管告知用户所设的温度值;保健功能通过设计鞋内加热点的位置,来达到脚底穴位按摩的作用,起到保健功能。
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一种电加热复合面料、可控温毯、可控温垫、可控温暖手宝和可控温墙暖壁画,该具有变色示温功能的电加热复合面料包括感温变色织物层(1)、第一绝缘层(2)、石墨烯发热基材布(3)、第二绝缘层(4)和热熔胶膜层,感温变色织物层(1)与第一绝缘层(2)之间、第一绝缘层(2)与石墨烯发热基材布(3)之间、石墨烯发热基材布(3)与第二绝缘层(4)之间分别通过热熔胶膜层连接。该电加热复合面料将石墨烯发热基材布优良的电发热性能与感温变色材料优异的热变色性能相结合,应用于可控温家纺产品的开发,使可控温家纺产品表面温度可视化,具
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一种冷热腔可控温加热支撑架,主要解决现有半导体镀膜设备热交换效率及产能较低,晶圆温度不够均匀致使薄膜失败的问题,本发明提供一种冷热腔可控温加热支撑架,该加热支撑架包括加热支撑架上盘体,陶瓷柱,分隔板,加热支撑架下盘体,固定螺母。本发明的可控温加热支撑架通过冷热腔利用不同温度的循环媒介的自动调节控温,可以实现加热支撑架温度的自动调节,能够精确地控制加热支撑架的温度。
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本发明公开了一种热压三通管坯分区加热控温设备及其加热控温方法,包括L型移动炉座(1),L型固定炉座(6)和感应涡流加热装置,所述的感应涡流加热装置,包括上感应加热线圈(7a)、下感应加热线圈(7b)、前感应加热线圈(7c)和后感应加热线圈(7d),分别设置在管坯的上部、下部、前部、后部;上感应加热线圈、下感应加热线圈两者电路相互独立,可以统一控制或独立控制,以产生用于加热金属管坯的相同或者不同磁场,所述前感应加热线圈和后感应加热线圈设置在管坯的轴向方向,对于较难加热到的管坯端面处也能实现稳定加热,以实现非