边缘曝光机及边缘曝光区域打码方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105629679A(43)申请公布日2016.06.01(21)申请号201610163607.0(22)申请日2016.03.22(71)申请人武汉华星光电技术有限公司地址430070湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋(72)发明人丁磊(74)专利代理机构深圳市德力知识产权代理事务所44265代理人林才桂(51)Int.Cl.G03F7/20(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图5页(54)发明名称边缘曝光机及边缘曝光区域打码方法(57)摘要本发明提供一种边缘曝光机及边缘曝光区域打码方法。本发明的边缘曝光机，包括用于承载基板的载台、位于载台上方的边缘曝光遮光板与打码区遮光板、位于所述边缘曝光遮光板与打码区遮光板上方的曝光灯源、边缘宽度控制电动机、及驱动所述打码区遮光板移动的方向驱动电动机；在边缘曝光机进行边缘曝光时，所述方向驱动电动机根据基板上预设的打码区域的位置驱动所述打码区遮光板移动至对应所述边缘曝光遮光板的透光区域内的位置，从而在对基板上的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光的区域用于打码，在完成边缘曝光和打码的前提下，避免了打码区域的二次曝光，提高基板的利用率。CN105629679ACN105629679A权利要求书1/2页1.一种边缘曝光机，其特征在于，包括：用于承载基板的载台(10)、位于载台上方的边缘曝光遮光板(20)与打码区遮光板(30)、位于所述边缘曝光遮光板(20)与打码区遮光板(30)上方的曝光灯源(40)、边缘宽度控制电动机(50)、及驱动所述打码区遮光板(30)移动的方向驱动电动机(60)；所述边缘曝光遮光板(20)具有宽度可调的透光区域，所述边缘宽度控制电动机(50)用于控制所述边缘曝光遮光板(20)上的透光区域的宽度，从而对基板的边缘曝光区域的宽度进行控制；所述打码区遮光板(30)为不透光的挡板，用于在对基板的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光用于打码的区域。2.如权利要求1所述的边缘曝光机，其特征在于，所述方向驱动电动机(60)包括横向方向驱动电动机(61)和竖向方向驱动电动机(62)，分别用于驱动所述打码区遮光板(30)在横向和竖向上的移动；在对基板进行曝光时，所述横向方向驱动电动机(61)和竖向方向驱动电动机(62)根据基板上预设的打码区域的位置驱动所述打码区遮光板(30)移动至对应所述边缘曝光遮光板(20)的透光区域内的位置，从而在对基板上的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光的区域用于打码。3.如权利要求2所述的边缘曝光机，其特征在于，所述打码区遮光板(30)的尺寸与基板上预设的打码区的尺寸相对应，尺寸大于所述基板上预设的打码区内号码的尺寸。4.如权利要求1所述的边缘曝光机，其特征在于，所述边缘曝光遮光板(20)与所述曝光灯源(40)为同步移动，所述曝光灯源(40)为紫外光灯源，在对基板进行曝光时，所述曝光灯源(40)发出的光穿过所述边缘曝光遮光板(20)的透光区域照射在基板的边缘区域而进行曝光。5.一种边缘曝光区域的打码方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、提供一涂布有光阻材料的基板(80)，在所述基板(80)上预设位于其四周边缘位置的边缘曝光区域(81)、及位于所述边缘曝光区域(81)内的打码区域(82)；步骤2、提供一边缘曝光机，包括：用于承载基板的载台(10)、位于载台上方的边缘曝光遮光板(20)与打码区遮光板(30)、位于所述边缘曝光遮光板(20)与打码区遮光板(30)上方的曝光灯源(40)、边缘宽度控制电动机(50)、及驱动所述打码区遮光板(30)移动的方向驱动电动机(60)；所述边缘曝光遮光板(20)具有宽度可调的透光区域，所述边缘宽度控制电动机(50)用于控制所述边缘曝光遮光板(20)上的透光区域的宽度，从而对基板的边缘曝光区域的宽度进行控制；所述打码区遮光板(30)为不透光的挡板，用于在对基板的边缘区域进行曝光时保留其中一部分不被曝光用于打码的区域；将所述基板(80)放置于所述边缘曝光机的载台(10)上，将生产配方输入所述边缘曝光机中，所述生产配方包括预设的边缘曝光区域(81)的宽度和打码区域(82)的位置；步骤3、所述边缘宽度控制电动机(50)根据生产配方对所述边缘曝光遮光板(20)上的透光区域的宽度进行调节，以使其对应预设的边缘曝光区域(81)的宽度；所述方向驱动电动机(60)根据生产配方驱动所述打码区遮光板(30)移动至所述基板(80)上预设的打码区域(82)的上方；2CN105629679A权利要求书2/2页步骤4、所述曝光灯源(40)发出的光穿过所述边缘曝光遮光板(20)的透光区域照射在所述基板(80)预设的边缘曝光区域(81)上而进行曝