电光装置、电光装置的制造方法、以及电子设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106054373A(43)申请公布日2016.10.26(21)申请号201610143833.2(22)申请日2016.03.14(30)优先权数据2015-0748702015.04.01JP(71)申请人精工爱普生株式会社地址日本东京(72)发明人伊藤智(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240代理人田喜庆吴孟秋(51)Int.Cl.G02B26/08(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图9页(54)发明名称电光装置、电光装置的制造方法、以及电子设备(57)摘要本发明提供能够以在支撑镜的镜支撑部(镜柱内)未残留有牺牲层的方式形成的电光装置、电光装置的制造方法、以及电子设备。电光装置(100)在扭转铰链(扭矩铰链)(35)上设有第一开口部(351)，在第一开口部(351)的周围，筒状的镜支撑部(41)的第一连接部(411)从与基板(1)侧相反的一侧接触于扭转铰链(35)。在镜支撑部(41)的内部未残留有构成牺牲层的树脂。镜支撑部(41)的与基板(1)相反一侧的第二端部(418)为平板部(416)，镜(51)与该第二端部(418)接触。因此，在镜(51)的表面未产生凹陷。CN106054373ACN106054373A权利要求书1/2页1.一种电光装置，其特征在于，具有：基板；金属层，包括在所述基板的一面侧向所述基板突出且被支撑于所述基板的第一支撑部、和设有第一开口部的扭转铰链；导电性的第二支撑部，从所述扭转铰链向与所述基板相反的一侧呈筒状地突出，在所述第二支撑部的第一端部具备在所述第一开口部的周围从与所述基板相反的一侧接触于所述扭转铰链的第一连接部，所述第一端部为向所述基板一侧开放的开放端；以及镜，与所述第二支撑部的与所述基板相反一侧的第二端部接触，所述第二支撑部具备与所述第一开口部的内表面接触的第二连接部。2.根据权利要求1所述的电光装置，其特征在于，所述电光装置在所述扭转铰链与所述第二支撑部之间具有设有第二开口部的绝缘性的中间层，所述第一连接部位于所述第二开口部的内侧。3.根据权利要求2所述的电光装置，其特征在于，在将所述第一连接部的最薄部分的厚度设为dm、将从所述第一开口部的内周面至所述第二开口部的内周面为止的距离设为dc时，所述厚度dm和所述距离dc满足以下关系：dm＜dc。4.根据权利要求2所述的电光装置，其特征在于，在将所述中间层的位于所述扭转铰链与所述第二支撑部之间的部分的宽度设为ds、将所述第一连接部的最薄部分的厚度设为dm、将从所述第一开口部的内周面至所述第二开口部的内周面为止的距离设为dc时，所述宽度ds、所述厚度dm以及所述距离dc满足以下关系：dm＜ds＜dc。5.根据权利要求2所述的电光装置，其特征在于，在将所述第二支撑部中从所述扭转铰链向所述镜延伸的筒部的壁厚设为dp、将所述中间层的位于所述扭转铰链与所述第二支撑部之间的部分的宽度设为ds、将从所述第一开口部的内周面至所述第二开口部的内周面为止的距离设为dc时、所述壁厚dp、所述宽度ds以及所述距离dc满足以下关系：ds＜dp且dc＜dp。6.一种电光装置的制造方法，其特征在于，包括：第一牺牲层形成工序，在基板的一面侧形成设有第一支撑部用开口部的第一牺牲层；第一导电膜形成工序，在所述第一牺牲层的与所述基板相反的一侧和所述第一支撑部用开口部的内侧形成第一导电膜；第一图案化工序，对所述第一导电膜进行图案化，形成具备第一支撑部且具备第一开口部的扭转铰链，所述第一支撑部由沉积于所述第一支撑部用开口部的内侧的所述第一导电膜构成；第二牺牲层形成工序，在所述扭转铰链的与所述基板相反的一侧形成与所述第一开口2CN106054373A权利要求书2/2页部重叠且外径小于所述第一开口部的内径的柱状的第二牺牲层；第二导电膜形成工序，形成具备筒部和平板部的第二导电膜，所述筒部覆盖所述扭转铰链的与所述基板相反的一侧、且覆盖所述柱状的第二牺牲层的侧面，所述平板部覆盖所述柱状的第二牺牲层的与所述基板相反一侧的端面；第二图案化工序，对所述第二导电膜进行图案化，形成具备第一连接部和第二连接部的第二支撑部，所述第一连接部覆盖所述柱状的第二牺牲层、且在所述柱状的第二牺牲层的周围从与所述基板相反的一侧接触于所述扭转铰链，所述第二连接部与所述扭转铰链的所述第一开口部的内周面接触；第三牺牲层形成工序，形成从与所述基板相反的一侧覆盖所述扭转铰链和所述第二支撑部的第三牺牲层；平坦化工序，从与所述基板相反的一侧对所述第三牺牲层进行平坦化，使所述第二支撑部露出；第三导电膜形成工序，在所述第三牺牲层的与所述基板相反的一侧形成第三导电膜；第三图案化工序，对所述第三导电膜进行图案化而形成镜；以及牺牲