透射型X射线靶和包括该透射型X射线靶的放射线产生管.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106783487A(43)申请公布日2017.05.31(21)申请号201710019459.X(22)申请日2014.01.17(30)优先权数据2013-0074542013.01.18JP(62)分案原申请数据201410022341.92014.01.17(71)申请人佳能株式会社地址日本东京(72)发明人五十岚洋一小仓孝夫塚本健夫(74)专利代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038代理人欧阳帆(51)Int.Cl.H01J35/08(2006.01)权利要求书1页说明书12页附图4页(54)发明名称透射型X射线靶和包括该透射型X射线靶的放射线产生管(57)摘要本公开内容涉及透射型X射线靶和包括该透射型X射线靶的放射线产生管。一种透射型X射线靶包括平板形金刚石基板和靶层，平板形金刚石基板具有第一表面和面对第一表面的第二表面，靶层位于第一表面上。第一表面的残留应力低于第二表面的残留应力。CN106783487ACN106783487A权利要求书1/1页1.一种透射型X射线靶，包括：平板形金刚石基板，所述平板形金刚石基板具有第一表面和与第一表面相对的第二表面；以及靶层，所述靶层位于第一表面上，电极，所述电极被设置在金刚石基板上，从靶层的周边延伸到金刚石基板的周边，所述靶层的周边与所述金刚石基板的周边远离，其中，第一表面的残留应力低于第二表面的残留应力，并且其中，所述电极包括具有负的碳化物标准生成自由能的金属元素。2.根据权利要求1所述的透射型X射线靶，其中，在残留应力的分布存在于第一表面和第二表面中的每个上的情况下，当且仅当第一表面的最大残留应力低于第二表面的最大残留应力时，第一表面的残留应力才低于第二表面的残留应力。3.根据权利要求1所述的透射型X射线靶，其中，第一表面与侧面之间的角度是钝角。4.根据权利要求1所述的透射型X射线靶，其中，所述金刚石基板是单晶金刚石。5.根据权利要求1所述的透射型X射线靶，其中，所述金刚石基板是通过从由单晶制成的基材分离所述基材的一部分而制成的。6.根据权利要求5所述的透射型X射线靶，其中，所述金刚石基板是通过局部加热光的照射将所述基材的一部分从所述基材分离而制成的。7.根据权利要求1所述的透射型X射线靶，其中，所述靶层的层厚度在1μm至20μm的范围内。8.根据权利要求1所述的透射型X射线靶，其中，所述电极包括钛、锆和铬中的至少任一种。9.根据权利要求1所述的透射型X射线靶，其中，所述电极的层厚度在100nm至10μm的范围内。2CN106783487A说明书1/12页透射型X射线靶和包括该透射型X射线靶的放射线产生管[0001]本分案申请是基于申请号为201410022341.9，申请日为2014年1月17日，发明名称为“透射型X射线靶和包括该透射型X射线靶的放射线产生管”的中国专利申请的分案申请。技术领域[0002]本发明涉及一种发射1pm至10nm的波长范围内的X射线的放射线产生设备，该放射线产生设备可适用于医疗器械、无损检测装置等。[0003]特别地，本发明的方面涉及一种包括靶(target)层和支承该靶层的金刚石基板的透射型X射线靶。而且，本发明的方面涉及一种包括该透射型X射线靶的放射线产生管、包括该放射线产生管的放射线产生设备、以及包括该放射线产生设备的放射线照相装置。背景技术[0004]近年来，建立了家庭护理系统，并且提高了急救医疗服务所提供的护理级别。因此，对于便携式的小型轻量级医疗形态装置的需求增加。为了响应这样的需要，随着医疗领域中的分析和诊断技术发展，开发了各种医疗形态装置。现有的包括放射线产生设备的放射线照相装置较大。因此，现有的放射线照相装置主要是医院和体检设施中所使用的落地安装类型。到目前为止，通过设置操作时间段和包括维护时间段的非操作时间段来使用这样的落地安装式医疗形态装置。[0005]希望的是，这样的包括放射线产生设备的放射线照相装置具有高耐用性并且被设计为易于维护，以使得可以提高该装置的操作速率，并且该装置可以用作适合于自然灾害或事故的情况下的急救医疗服务和家庭护理的医疗形态装置。[0006]决定放射线产生设备的耐用性的主要因素是用作放射线(诸如X射线)的产生源的靶的耐用性。通常，靶包括层叠层。已知为了提高靶的耐用性，重要的是长时间维持靶的层的黏合性。[0007]对于通过用电子束照射靶来产生放射线的放射线产生设备，靶的放射线产生效率为1％或更低。因此，提供给靶的几乎所有的能量都被转换为热量。如果靶所产生的热量没有被充分地驱散到外部，则可能引起靶的材料可能退化的问题，或者与黏合性相关的问题(诸如由于层之间所产生的应力而导致的层分离)可能发生。[0008]已知可以