一种柔性显示装置的制作方法及柔性显示装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106935547A(43)申请公布日2017.07.07(21)申请号201710239608.3(22)申请日2017.04.13(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号(72)发明人刘陆(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243代理人许静刘伟(51)Int.Cl.H01L21/77(2017.01)H01L27/32(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种柔性显示装置的制作方法及柔性显示装置(57)摘要本发明提供一种柔性显示装置的制作方法及柔性显示装置。其中，制作方法包括：提供一刚性载板；在刚性载板上设置由软玻璃形成的柔性衬底基板，柔性衬底基板包括保留区和非保留区；在柔性衬底基板的保留区形成柔性显示装置的显示器件；对柔性衬底基板进行切割，以将柔性衬底基板的保留区与非保留区分离；将保留区的柔性衬底基板从所述刚性载板上机械剥离。本发明的方案采用软玻璃材料作为柔性衬底基板，经反复实践证明，软玻璃的柔性衬底基板只需要通过机械剥离方式即可轻松地从剥离载台上脱离，而机械分离是成本低、易于实施的一种实现方式，且相比于激光分离和刻蚀分离，不易对显示器件产生损坏，因此本发明的方案具有较高的实用价值。CN106935547ACN106935547A权利要求书1/1页1.一种柔性显示装置的制作方法，其特征在于，包括：提供一刚性载板；在所述刚性载板上设置由软玻璃形成的柔性衬底基板，所述柔性衬底基板包括保留区和非保留区；在所述柔性衬底基板的保留区形成柔性显示装置的显示器件；对所述柔性衬底基板进行切割，以将所述柔性衬底基板的保留区与非保留区分离；将保留区的柔性衬底基板从所述刚性载板上机械剥离。2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，将保留区的柔性衬底基板从所述刚性载板上机械剥离之后，所述方法还包括：在所述保留区的柔性衬底基板背向所述显示器件的一侧形成柔性增强层。3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述柔性增强层的形成材料包括：聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚萘二甲酸乙二醇酯中的一者或任意几者的组合。4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在所述刚性载板上设置由软玻璃形成的柔性衬底基板，包括：在真空环境下，使用高温胶将柔性衬底基板粘结在刚性基板上；或者在真空环境下，使用静电吸附方式将柔性衬底基板吸附在刚性基板上。5.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于，对所述柔性衬底基板进行切割之前，所述方法还包括：在所述柔性衬底基板的保留区形成覆盖所述显示器件的保护层。6.根据权利要求5所述的制作方法，其特征在于，还包括：在形成柔性增强层后，去除所述保护层，并在所述柔性衬底基板背向所述显示器件的一侧形成偏光片和/或柔性电路。7.一种柔性显示装置，其特征在于，采用如权利要求1-6中任一项所述的方法制作，所述柔性显示装置包括：柔性衬底基板；位于所述柔性衬底基板上的显示器件；其中，所述柔性衬底基板由软玻璃形成。8.根据权利要求7所述的柔性显示装置，其特征在于，还包括：形成在所述柔性衬底基板背向所述显示器件一侧的柔性增强层。9.根据权利要求8所述的柔性显示装置，其特征在于，所述柔性增强层的形成材料包括：聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚萘二甲酸乙二醇酯中的一者或任意几者的组合。10.根据权利要求7-9任一项所述的柔性显示装置，其特征在于，所述柔性衬底基板的厚度为10um-30um。2CN106935547A说明书1/4页一种柔性显示装置的制作方法及柔性显示装置技术领域[0001]本发明涉及显示器的制作领域，特别是指一种柔性显示装置的制作方法及柔性显示装置。背景技术[0002]目前柔性显示设备的制作工艺有卷对卷和片对片两种制造方式。片对片生产模式可以很好的利用LCD的生产工艺和设备，具体的方法是将柔性衬底基板制作在玻璃载台上，然后在柔性衬底基板上进一步制作显示器件，之后再将柔性衬底基板与玻璃载台分离。[0003]关于柔性衬底基板技术，目前各大公司主流的研究方向都是塑料衬底基板。[0004]目前各个公司都推出了相关的塑料衬底基板分离的技术。例如：[0005]飞利浦公司的laserrelease技术，这种技术采用激光来破坏柔性基板与玻璃接着的界面来达到分离效果，缺点是设备投资昂贵；[0006]Sony公司的EtchingStopperProcess技术，这种技术将玻璃基板在氢氟酸的条件下蚀刻掉，其缺点是工艺流程比较复杂，在蚀刻玻璃基板过程中，显示器件易受到蚀刻源的污染；[0007]美国亚利桑那州立大学柔性研究中心提出的一种bond-debond工艺来制作柔性器件，bond-debond技