一种柔性基板制备方法、柔性基板、显示面板及显示装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107170778A(43)申请公布日2017.09.15(21)申请号201710333297.7(22)申请日2017.05.12(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号(72)发明人杨静宋平高山镇(74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司11291代理人郭润湘(51)Int.Cl.H01L27/32(2006.01)H01L27/12(2006.01)H01L51/00(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称一种柔性基板制备方法、柔性基板、显示面板及显示装置(57)摘要本申请公开了一种柔性基板制备方法、柔性基板、显示面板及显示装置，用以避免或减缓柔性基板内残留气泡的现象，进而提高产品的制作良率。本申请实施例提供的一种柔性基板制备方法，该方法包括：在玻璃基板之上设置第一柔性衬底层；在所述第一柔性衬底层之上设置第一缓冲层；在所述第一缓冲层上设置开孔；在所述第一缓冲层之上设置第二柔性衬底层。CN107170778ACN107170778A权利要求书1/1页1.一种柔性基板制备方法，其特征在于，该方法包括：在玻璃基板之上设置第一柔性衬底层；在所述第一柔性衬底层之上设置第一缓冲层；在所述第一缓冲层上设置开孔；在所述第一缓冲层之上设置第二柔性衬底层。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二柔性衬底层和所述第一柔性衬底层通过所述开孔接触。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述开孔设置于所述柔性基板的非显示区。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一缓冲层包括：第一缓冲子层以及位于所述第一缓冲子层之上的粘结层，在垂直于所述柔性基板的方向上，所述第一缓冲子层和所述粘结层上的开孔的投影重叠。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述第一缓冲层之上设置所述第二柔性衬底层之后，该方法还包括：在所述第二柔性衬底层之上设置第二缓冲层。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一柔性衬底层和所述第二柔性衬底层的材料包括下列材料之一或组合：聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚酰亚胺、聚碳酸酯、换烯烃共聚物、液晶聚合物；所述第一缓冲子层和所述第二缓冲层的材料包括下列材料之一或组合：氧化硅、氮化硅；所述粘结层的材料包括下列材料之一或组合：非晶硅、氧化铟锡。7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在所述第二柔性衬底层之上设置所述第二缓冲层之后，该方法还包括：在所述第二缓冲层之上设置平坦化层。8.一种柔性基板，其特征在于，采用权利要求1～7任一权利要求所述方法制得。9.一种显示面板，其特征在于，包括权利要求8所述的柔性基板，以及位于所述柔性基板之上的显示器件层。10.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求9所述的显示面板。2CN107170778A说明书1/5页一种柔性基板制备方法、柔性基板、显示面板及显示装置技术领域[0001]本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性基板制备方法、柔性基板、显示面板及显示装置。背景技术[0002]柔性显示装置是一种基于柔性基板制作形成的显示装置。由于显示装置具有可卷曲、宽视角、便于携带等特点，因此柔性显示装置具有广阔的应用前景及良好的市场潜力。[0003]现有技术中，单层柔性基板包括一层柔性衬底以及位于柔性衬底之上的缓冲层，其制备工艺简单，但是阻水阻氧效果较差，水氧从柔性基板的底部慢慢渗入至显示面板的电致发光器件，使得电致发光器件中的电致发光(Electroluminescent，EL)材料失效，导致电致发光器件工作可靠性差。为了更好的阻隔水氧，一般采用双层柔性衬底膜的柔性基板，双层柔性衬底膜的柔性基板制备工艺如下：1、涂覆第一层柔性衬底材料，进行低压干燥处理以及退火处理，固化形成第一层柔性衬底膜层，对固化后的膜层进行清洗；2、采用等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，PECVD)方法在第一柔性衬底膜层之上依次沉积第一层氧化硅层和非晶硅层；3、在非晶硅层之上，涂覆第二层柔性衬底材料，进行低压干燥处理以及退火处理，固化形成第二层柔性衬底膜层，对固化后的膜层进行清洗；4、采用PECVD方法在第二层柔性衬底膜层之上沉积第二层氧化硅层。但是，采用上述工艺制备的双层柔性衬底的柔性基板，后续在设置显示器件的工艺中，例如高温条件下，第一层柔性衬底膜层的气体无法及时排出，容易在第二层柔性衬底处残留气泡，从而影响显示面板的制作良率。发明内容[0004]本申请实施例提供了一种柔性基板制备方法、柔性基板、显示面板及显示装置，用以避免或减缓柔性基板内残留气泡的现象，进而提高产