用于生产镀膜玻璃的镀膜段及其用途.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107235642A(43)申请公布日2017.10.10(21)申请号201710533183.7(22)申请日2017.07.03(71)申请人中国建材国际工程集团有限公司地址200063上海市普陀区中山北路2000号中期大厦27层(72)发明人井治刘锐王程张超群葛治亮王贝(74)专利代理机构上海光华专利事务所31219代理人张新鑫许亦琳(51)Int.Cl.C03C17/00(2006.01)C03C17/06(2006.01)C03C17/23(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称用于生产镀膜玻璃的镀膜段及其用途(57)摘要本发明提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜段及其应用，所述镀膜段至少包括：若干隔离腔室、传输单元、气体隔离单元，阴极靶材、抽真空单元、以及冷却单元；每个隔离腔室依次连接，每个隔离腔室的顶部设置可打开的盖板，每个盖板大小和形状一致；每个所述隔离腔室的内部设置气体隔离单元或者阴极靶材；所述传输单元设置在隔离腔室内的下方且贯通所有隔离腔室；每个装有所述气体隔离单元的隔离腔室上的盖板上设置抽真空装置；安装有所述阴极靶材的隔离腔室内部还设置冷却单元。本发明中的工艺布置可以满足多种单、双银产品的生产；生产不同的产品，靶材位置需要变动时，可以简便、及时的变动；未来产品更新换代，需预留一定的工艺升级空间。CN107235642ACN107235642A权利要求书1/1页1.一种用于生产镀膜玻璃的镀膜段，其特征在于，所述镀膜段至少包括：若干隔离腔室、传输单元、气体隔离单元，阴极靶材、抽真空单元、以及冷却单元；每个所述隔离腔室依次连接，每个所述隔离腔室的顶部设置可打开的盖板，每个所述盖板大小和形状一致；每个所述隔离腔室的内部设置气体隔离单元或者阴极靶材；所述传输单元设置在所述隔离腔室内的下部且贯通所有隔离腔室；每个装有所述气体隔离单元的隔离腔室上的盖板上设置抽真空装置；安装有所述阴极靶材的隔离腔室内部还设置冷却单元。2.根据权利要求1所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜段，其特征在于：相邻的两个隔离腔室之间设置抽气口。3.根据权利要求1所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜段，其特征在于：每个所述隔离腔室都是规则的6面体且大小一致；每个所述盖板和所述隔离腔室之间设有密封圈。4.根据权利要求1所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜段，其特征在于：所述气体隔离单元包括横向设置的横向隔板和纵向设置的纵向隔板，所述横向隔板位于传输单元的上方，所述纵向隔板上端达到隔离腔室的顶部，下端达到横向隔板。5.根据权利要求1所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜段，其特征在于：所述冷却单元包括设置在隔离腔室内下部的冷却水管道，所述冷却水管道与外部水源连通。6.根据权利要求1所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜段，其特征在于：所述传输单元采用传输辊道，所述传输辊道包括若干辊子。7.根据权利要求1所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜段，其特征在于：所述阴极靶材选自SiAl靶材、TiO靶材、SnAl靶材、ZnAl靶材、ZnSn靶材、AZO靶材、Ni靶材、Cr靶材、NiCr靶材、Ag靶材中的任意一种或几种。8.根据权利要求7所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜段，其特征在于：所述阴极靶材按照SiAl靶材、ZnAl靶材、NiCr靶材、Ag靶材、NiCr靶材、SnZn靶材、ZnAl靶材、NiCr靶材、Ag靶材、NiCr靶材、SnZn靶材、SiAl靶材顺序分别安装在所述隔离腔室内。9.根据权利要求8所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜段，其特征在于：所述隔离腔室共40个，并依次连接，其中第2个隔离腔室和第3个隔离腔室中设置SiAl靶材、第7个隔离腔室和第8个隔离腔室安装ZnAl靶材、第11个隔离腔室安装NiCr靶材、第13个隔离腔室安装Ag靶材、第15个隔离腔室安装NiCr靶材、第18个隔离腔室和第19个隔离腔室安装SnZn靶材、第22个隔离腔室和第23个隔离腔室安装ZnAl靶材、第26个隔离腔室安装NiCr靶材、第28个隔离腔室安装Ag靶材、第30个隔离腔室安装NiCr靶材、第33个隔离腔室和第34个隔离腔室安装SnZn靶材、第38个隔离腔室和第39个隔离腔室安装SiAl靶材，其余的隔离腔室中安装气体隔离单元。10.根据权利要求1～9任一项所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜段用于生产镀膜玻璃的用途。2CN107235642A说明书1/5页用于生产镀膜玻璃的镀膜段及其用途技术领域[0001]本发明涉及一种用于生产镀膜玻璃的镀膜段及其用途，特别适用于生产低辐射镀膜玻璃，属于机械领域。背景技术[0002]低辐射镀膜玻璃，(Low-E玻璃)即采用物理或化学方法在玻璃表面上镀上含有一层或两层甚至多层膜系的金属薄膜或金属氧化物薄膜，来降低