晶圆储存容器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107431035A(43)申请公布日2017.12.01(21)申请号201680017264.5(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32(22)申请日2016.03.24200代理人汪丽红(30)优先权数据10-2015-00405232015.03.24KR(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2017.09.21(86)PCT国际申请的申请数据PCT/KR2016/0030002016.03.24(87)PCT国际申请的公布数据WO2016/153291EN2016.09.29(71)申请人披考安泰拉有限公司地址韩国京畿道水原市靈通区德英大路1556番-路16-1002-号申请人禹范济(72)发明人禹范济尹锡文韩命锡金贤信权利要求书2页说明书11页附图8页(54)发明名称晶圆储存容器(57)摘要本发明是有关于晶圆储存容器，更具体的说，是关于一晶圆储存容器，其中晶圆储存容器内划分成数个彼此独立和分开的空间，即一储存室、一气体注入室，及一气体排出室，所以当晶圆储存容器运往装载口并且与其相耦合，净化气体经由储存室内的分隔墙注入或排出，从而有效地去除晶圆表面上残留的烟雾。CN107431035ACN107431035A权利要求书1/2页1.一种晶圆储存容器，其特征在于，包括：储存室，用来储存晶圆于其中；气体注入室，在底表面形成有进气孔且沿着所述储存室的侧表面与所述储存室连通；以及气体排出室，在底表面形成有排气孔且沿着所述储存室的侧表面与所述储存室连通，其中所述储存室、所述气体注入室及所述气体排出室，形成为彼此独立和分离的空间。2.根据权利要求1所述的晶圆储存容器，其特征在于：所述气体注入室分别位于所述储存室的两侧，且所述气体排出室位于所述储存室的后侧表面。3.根据权利要求1所述的晶圆储存容器，其特征在于：所述气体注入室位于所述储存室的一侧，且所述气体排放室位于所述气体注入室的相反侧。4.根据权利要求1所述的晶圆储存容器，其特征在于：第一气体注入室位于所述储存室的一侧，且第二气体注入室及所述气体排出室皆位于所述储存室的相反侧。5.根据权利要求1-4中任一项所述的晶圆储存容器，其特征在于：分隔墙将所述储存室和所述气体注入室形成为彼此独立和分离的空间，并且所述分隔墙形成有孔洞以连通气体。6.根据权利要求5所述的晶圆储存容器，其特征在于：所述分隔墙形成有多个孔洞，且所述孔洞的孔径面积越往上部移动而变得越宽。7.根据权利要求5所述的晶圆储存容器，其特征在于：所述分隔墙形成有多个孔洞，且在所述孔洞里安装有预定长度的导管。8.根据权利要求7所述的晶圆储存容器，其特征在于：所述导管的一端安装于所述分隔墙的所述孔洞中，而另一端则向所述气体注入室突出。9.根据权利要求8所述的晶圆储存容器，其特征在于：所述导管长度随着越往所述分隔墙上部移动而变得越短。10.根据权利要求1-4中任一项所述的晶圆储存容器，其特征在于：多个平板被安装在所述储存室的两侧，与所述气体注入室连通，且注入气体至所述储存室。11.根据权利要求10所述的晶圆储存容器，其特征在于：所述平板形成有多个注入孔。12.根据权利要求11所述的晶圆储存容器，其特征在于：所述平板越靠近所述储存室的表面，越向晶圆突出。13.一种晶圆储存容器，其特征在于，包括：储存室，用来储存晶圆于其中；气体注入室，在底表面形成有进气孔且沿着所述储存室的侧表面与所述储存室连通；第一分隔墙，将所述储存室和所述气体注入室分隔为彼此独立和分离的空间，且形成有连通气体的第一孔洞；气体排出室，在底表面形成有排气孔且沿着所述气体注入室的相反侧表面与所述储存室连通；以及第二分隔墙，将所述储存室和所述气体排出室分隔为彼此独立和分离的空间，且形成有连通气体的第二孔洞。14.一种晶圆储存容器，其特征在于，包括：储存室，用来储存晶圆于其中；2CN107431035A权利要求书2/2页一对气体注入室，在底表面形成有进气孔且沿着所述储存室的两侧表面与所述储存室连通；一对第一分隔墙，将所述储存室和所述气体注入室分隔为彼此独立和分离的空间，且形成有连通气体的第一孔洞；气体排出室，在底表面形成有排气孔且沿着所述储存室的后侧表面与所述储存室连通；以及第二分隔墙，将所述储存室和所述气体排出室分隔为彼此独立和分离的空间，且形成有连通气体的第二孔洞。15.一种晶圆储存容器，其特征在于，包括：储存室，用来储存晶圆于其中；第一气体注入室，在底表面形成有进气孔且沿着所述储存室的侧表面与所述储存室连通；第一分隔墙，将所述储存室和所述第一气体注入室分隔为彼此独立和分离的空间，且形成有连通气体的第一孔洞；第二气体注入室，