防止液体残留于基板的风刀吹干方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107677089A(43)申请公布日2018.02.09(21)申请号201610848625.2(22)申请日2016.09.26(30)优先权数据1051244052016.08.02TW(71)申请人睿明科技股份有限公司地址中国台湾桃园市(72)发明人丁鸿泰饶裕丰陈锦铭(74)专利代理机构北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙)11276代理人刘云贵金卫文(51)Int.Cl.F26B15/12(2006.01)F26B25/02(2006.01)F26B21/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图4页(54)发明名称防止液体残留于基板的风刀吹干方法(57)摘要本发明为一种防止液体残留于基板的风刀吹干方法，用于吹干残留有液体的基板，包含以下步骤：提供风干室，具有风刀、排气单元及控制器，风刀吹气至风干室内，排气单元将风干室的气体排出，控制器控制排气单元的排气量；将残留有液体的基板输送至风干室的入口，并使基板朝风干室的出口移动；风刀朝残留有液体的基板吹气，以将基板上的液体吹离基板，在吹气时，风刀的吹气量为固定的；通过控制器调整排气单元的排气量，排气量对应于风刀吹气至该风干室的吹气量，以减少风干室的扰流，并使基板被风刀吹气时，不会翘起。借此，能充分地吹干基板。CN107677089ACN107677089A权利要求书1/1页1.一种防止液体残留于基板的风刀吹干方法，用于吹干残留有液体的基板，其特征在于，包含以下步骤：第一步骤：提供风干室，具有至少一组风刀、至少两组排气单元及控制器，该至少一组风刀吹气至该风干室内，上述排气单元将该风干室的气体排出，该控制器控制各该排气单元的排气量；第二步骤：将残留有液体的基板输送至该风干室的入口，并使该基板朝该风干室的出口移动；第三步骤：该至少一组风刀朝残留有液体的基板吹气，以将该基板上的液体吹离该基板，在吹气时，该至少一组风刀的吹气量为固定的；及第四步骤：通过该控制器调整各该排气单元的排气量，该排气量对应于该至少一组风刀吹气至该风干室的吹气量，以减少该风干室的扰流，并使该基板被该至少一组风刀吹气时，不会翘起。2.如权利要求1所述的风刀吹干方法，其特征在于，上述排气单元设置在该至少一组风刀与该风干室的入口之间，并对应该至少一组风刀的吹气位置。3.如权利要求2所述的风刀吹干方法，其特征在于，该控制器为可编程控器。4.如权利要求1所述的风刀吹干方法，其特征在于，该控制器为可编程控器。5.如权利要求1至4中任一项所述的风刀吹干方法，其特征在于，随着该基板相对于该至少一组风刀的相对位置，通过该控制器调整各该排气单元的排气量。6.如权利要求5所述的风刀吹干方法，其特征在于，上述排气单元分别位于该风干室的顶部及底部。7.如权利要求1至4中任一项所述的风刀吹干方法，其特征在于，上述排气单元分别位于该风干室的顶部及底部。2CN107677089A说明书1/3页防止液体残留于基板的风刀吹干方法技术领域[0001]本发明涉及一种风刀吹干方法，尤其涉及一种防止液体残留于基板的风刀吹干方法，避免基板经过风刀时，产生翘曲或形变的状况，也能有效防止液体残留于基板。背景技术[0002]目前的技术中，玻璃基板经过清洗后，会残留液体于玻璃基板的表面，必须经过风干室来进行吹干的工程。[0003]目前在风干室1000进行吹干的工程中，使用固定风压的风刀1100直接吹向残留有液体的玻璃基板2000，如图1所示；为了吹离玻璃基板2000的表面的液体，风刀1100必须具有较大的吹气量，故当风刀1100对准玻璃基板2000的最前端2100或最后端2200时，玻璃基板2000容易发生翘曲或形变的状况(如图2及图3所示)，从而破坏风干室1000的流场的均一性，容易导致玻璃基板2000歪斜及变形。[0004]由于风刀1100的吹气量为一定值，纵使减弱风刀1100的吹气量，风刀1100仍然对准玻璃基板2000的最前端2100或最后端2200，故玻璃基板2000的两端始终会受到气流影响，使得玻璃基板2000的两端发生力矩变化，从而造成玻璃基板2000翘曲或形变。[0005]因此，如何发明出一种玻璃基板的吹干方法，避免玻璃基板经过风刀时，产生翘曲或形变的状况，也能有效防止液体残留于玻璃基板，将是本发明所欲积极揭露之处。发明内容[0006]本发明的目的在于提供一种防止液体残留于基板的风刀吹干方法，避免基板经过风刀时，产生翘曲或形变的状况，亦能有效防止液体残留于基板。[0007]为达上述目的及其他目的，本发明提供一种防止液体残留于基板的风刀吹干方法，用于吹干残留有液体的基板，包含以下第一步骤至第四步骤。[0008]在第一步骤中，提供风干室，具有至少一组风刀、至少两组