过滤装置及其维护方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108993015A(43)申请公布日2018.12.14(21)申请号201811129902.X(22)申请日2018.09.27(71)申请人长江存储科技有限责任公司地址430074湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室(72)发明人廖昌洋杨永刚蒋阳波顾立勋徐融(74)专利代理机构上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)31294代理人董琳陈丽丽(51)Int.Cl.B01D35/16(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图3页(54)发明名称过滤装置及其维护方法(57)摘要本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种过滤装置及其维护方法。所述过滤装置包括：过滤器，包括输入端以及与所述输入端相对的输出端，用于对自所述输入端输入的液体进行过滤；吹扫部，用于自所述输入端向所述过滤器传输吹扫气体，以将所述过滤器内的残留液体自所述输出端排出。本发明加速了过滤器内部残留液体的排出速度，缩短了过滤装置的维护时间，减少了人力成本。CN108993015ACN108993015A权利要求书1/2页1.一种过滤装置，其特征在于，包括：过滤器，包括输入端以及与所述输入端相对的输出端，用于对自所述输入端输入的液体进行过滤；吹扫部，用于自所述输入端向所述过滤器传输吹扫气体，以将所述过滤器内的残留液体自所述输出端排出。2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述吹扫部包括：第一管道，一端用于连通存储所述吹扫气体的气源、另一端连通所述输入端，用于向所述过滤器传输所述吹扫气体；第一控制阀，安装于所述第一管道中，用于控制所述第一管道是否导通。3.根据权利要求2所述的过滤装置，其特征在于，还包括：输入管道，用于向所述过滤器传输待过滤的所述液体；第二控制阀，安装于所述输入管道中，用于控制所述过滤器与存储待过滤的所述液体的供应源之间是否连通。4.根据权利要求3所述的过滤装置，其特征在于，还包括：输出管道，用于传输过滤后的所述液体；第三控制阀，安装于所述输出管道中，用于控制所述过滤器与用于接收过滤后的所述液体的接收端之间是否连通。5.根据权利要求4所述的过滤装置，其特征在于，还包括：收集部，与位于所述第三控制阀和所述输出端之间的输出管道连接，用于收集自所述过滤器中排出的由残留的所述液体和所述吹扫气体构成的混合物。6.根据权利要求5所述的过滤装置，其特征在于，所述收集部包括：气液分离器，连通所述输出管道，用于自所述混合物中分离所述液体与所述吹扫气体；气体收集端，连接所述气液分离器，用于收集分离后的所述吹扫气体；液体收集端，连接所述气液分离器，用于收集分离后的所述液体。7.根据权利要求6所述的过滤装置，其特征在于，所述收集部还包括：第二管道，一端连通所述气液分离器、另一端连通所述液体收集端；第四控制阀，安装于所述第二管道中，用于控制所述第二管道是否导通。8.根据权利要求7所述的过滤装置，其特征在于，所述收集部还包括：传感器，安装于所述第四控制阀与所述气液分离器之间的第二管道中，用于检测所述第二管道是否接收到经所述气液分离器分离的所述液体；控制部，连接所述传感器与所述第一控制阀，用于在确定所述第二管道未接收到经所述气液分离器分离的所述液体后，关闭所述第一控制阀。9.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，还包括：通风管道，一端连通所述过滤器、另一端与外界连通，用于调整所述过滤器内的压力；排泄管道，一端连通所述过滤器、另一端与外界连通，用于排除所述过滤器内的残留的所述液体。10.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述吹扫气体为氮气。11.一种过滤装置维护方法，其特征在于，包括如下步骤：提供一过滤器，所述过滤器用于过滤液体；2CN108993015A权利要求书2/2页传输吹扫气体至所述过滤器内，排出所述过滤器中的残留液体。12.根据权利要求11所述的过滤装置维护方法，其特征在于，传输吹扫气体至所述过滤器内的具体步骤包括：提供第一管道，所述第一管道用于向所述过滤器传输吹扫气体，且所述第一管道中具有第一控制阀；检测是否接收到用户发出的吹扫指令，若是，则开启所述第一控制阀，向所述过滤器中传输吹扫气体。13.根据权利要求12所述的过滤装置维护方法，其特征在于，待过滤的所述液体经一输入管道传输至所述过滤器，所述输入管道中具有用于控制所述过滤器与存储待过滤的所述液体的供应源之间是否连通的第二控制阀；所述过滤器过滤后的所述液体经一输出管道传输，所述输出管道中具有用于控制所述过滤器与用于接收过滤后的所述液体的接收端之间是否连通的第三控制阀；传输吹扫气体至所述过滤器内之前还包括如下步骤：同时关闭所述第二控制阀与所述第三控制阀。14.根据权利要求13所述的过滤装置维护