液体输送系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109564885A(43)申请公布日2019.04.02(21)申请号201780032906.3(74)专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司(22)申请日2017.04.0444205代理人郑勇(30)优先权数据62/318,2022016.04.04US(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2018.11.27(86)PCT国际申请的申请数据PCT/US2017/0260222017.04.04(87)PCT国际申请的公布数据WO2017/176815EN2017.10.12(71)申请人艾科系统公司地址美国德克萨斯州(72)发明人C·梅尔采尔P·R·巴罗斯H·久保田R·特勒T·库什曼G·P·马利根权利要求书3页说明书10页附图19页(54)发明名称液体输送系统(57)摘要一种能够分配液体化学品的系统，包括衬底块，所述衬底块包括在所述块的第一主表面上形成的至少两个孔口和在两个孔口之间延伸的流体通道。流体路径优选为平滑的无缝路径，其中流体路径的整个体积直接与所需要的流体流相一致，从而使流体流完全扫过整个流动通道，并且所述流体通道中不存在死体积或滞留区域。可以使用新的组合物和制造工艺从氟聚合物中形成衬底块。提供一种密封组件，其使用可替换插入式密封件和形成于模块化部件中的榫槽密封件的组合。CN109564885ACN109564885A权利要求书1/3页1.一种液体输送系统，包括：衬底块，所述衬底块包括在第一表面上形成的第一衬底孔口和第二衬底孔口，和第一液体通道，所述第一液体通道向第一方向延伸并将第一衬底孔口流体连接到第二衬底孔口；第一有源部件，所述第一有源部件流体连接到第一衬底孔口，以及，与第一有源部件不同的第二有源部件，所述第二有源部件流体连接到第二衬底孔口；其中，所述第一液体通道没有死体积或液体滞留区域。2.根据权利要求1所述的液体输送系统，其中所述第一液体通道形成为使得液体流扫过液体通道的整个体积。3.根据权利要求1所述的液体输送系统，其中所述第一液体通道的整个体积与流体流相一致。4.根据权利要求1所述的液体输送系统，其中所述衬底块包括聚合物或氟聚合物。5.根据权利要求1所述的液体输送系统，其中所述衬底块包括聚丙烯、PTFE、改性PTFE或PFA。6.根据权利要求1所述的液体输送系统，其中所述衬底块包括在第一表面中形成的第三衬底孔口和第四衬底孔口，以及将第三衬底孔口流体连接到第四衬底孔口的第二液体通道。7.根据权利要求1所述的液体输送系统，其中所述衬底块的形成方式为：在第一衬底层的上表面加工光滑槽和在第二衬底层的底面上加工相匹配的光滑槽，将第二衬底层定位在第一衬底层上以使匹配的槽形成液体通道并使两个层结合在一起。8.根据权利要求7所述的液体输送系统，进一步包括在所形成的槽的两端处穿过第二层钻取第一孔口和第二孔口。9.根据权利要求1所述的液体输送系统，其中将两个衬底层结合在一起包括通过施加热和压力将两个聚合物或氟聚合物层结合在一起。10.根据权利要求1所述的液体输送系统，其中所述衬底块通过聚合物或氟聚合物的成型而形成。11.根据权利要求10所述的液体输送系统，其中所述成型包括模压成型、等静压成型或熔体加工。12.根据权利要求10所述的液体输送系统，其中所述成型包括注射成型。13.根据权利要求1所述的液体输送系统，其中所述衬底块是通过在模具中烧结氟聚合物而形成的。14.根据权利要求1所述的液体输送系统，其中所述衬底块是通过在模具中烧结两个独立的衬底层然后将各层融熔接合在一起而形成的。15.根据权利要求1所述的液体输送系统，其中所述有源部件是从流量控制器、压力传感器、流量测量传感器、压力调节器和阀门的组合中选择的部件。16.根据权利要求1所述的液体输送系统，其中所述液体输送系统的占用空间中的闲置空间与系统部件的比率不超过30％。17.根据权利要求1所述的液体输送系统，其中所述液体输送系统安装有多个有源部件，所述有源部件之间的间隔小于20毫米。2CN109564885A权利要求书2/3页18.根据权利要求17所述的液体输送系统，所述多个有源部件包括从流量控制器、压力传感器、流量测量传感器、压力调节器和阀门的组合中选择的两个或多个部件。19.一种能够分配液体化学品的系统，包括：衬底块，所述衬底块包括在第一表面上形成的第一衬底孔口和第二衬底孔口，和第一液体通道，所述第一液体通道向第一方向延伸并将第一衬底孔口流体连接到第二衬底孔口；其中所述第一衬底孔口适于与第一有源部件流体连接，而所述第二衬底孔口适于流体连接到与第一有源部件不同的第二有源部件；并且其中所述第一液体通道是光滑的通道，没有死体积或液