清洁装置及采用该清洁装置的喷淋装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109570075A(43)申请公布日2019.04.05(21)申请号201811272658.2(22)申请日2018.10.30(71)申请人武汉华星光电技术有限公司地址430079湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋(72)发明人魏凡(74)专利代理机构深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300代理人黄威(51)Int.Cl.B08B1/00(2006.01)B08B3/02(2006.01)B08B13/00(2006.01)G03F7/30(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称清洁装置及采用该清洁装置的喷淋装置(57)摘要本发明提供一种清洁装置及采用该清洁装置的喷淋装置，本发明的优点在于，利用清洁装置清洁喷淋装置的喷嘴，其能够有效去除光阻残留，避免喷嘴堵塞。CN109570075ACN109570075A权利要求书1/1页1.一种清洁装置，其特征在于，包括一支架、一驱动件及一滑片，所述驱动件固定在所述支架上，所述滑片能够延伸进入一欲清洁的装置的内部，所述驱动件与所述滑片连接，以驱动所述滑片在所述欲清洁的装置内移动。2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括一滑轨及一滑块，所述滑轨与所述支架连接或者与所述欲清洁的装置连接，所述滑轨沿所述滑片的移动方向延伸，所述滑块与所述滑片连接，且所述滑块沿所述滑轨移动以带动所述滑片沿所述滑轨移动。3.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述支架为一可升降支架。4.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括一限位装置，其设置在所述滑片滑行的起始端及终端，以限定所述滑片的移动位置。5.一种喷淋装置，其特征在于，包括一喷嘴及一如权利要求1所述的清洁装置，所述滑片插入所述喷嘴内，且在所述喷嘴内，所述滑片能够沿所述喷嘴的长度方向移动。6.根据权利要求5所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷嘴还包括一喷口及一与所述喷口相对的顶端，所述顶端具有一狭缝，所述滑片自所述狭缝延伸至所述喷口，所述清洁装置还包括一滑轨及一滑块，所述滑轨设置在所述顶端，且沿所述喷嘴的长度方向延伸，所述滑块与所述滑片连接，且所述滑块能够沿所述滑轨移动，以带动所述滑片沿所述滑轨移动。7.根据权利要求6所述的喷淋装置，其特征在于，所述滑片的宽度小于所述喷口的宽度，所述滑片自所述狭缝延伸至所述喷口并突出于所述喷口。8.根据权利要求6所述的喷淋装置，其特征在于，在所述顶端，一密封结构设置在所述狭缝的两侧，以避免液体从所述狭缝喷出。9.根据权利要求6所述的喷淋装置，其特征在于，在所述喷嘴的至少一侧壁设置有多个进液口，一液体通过所述进液口传送至所述喷嘴内，并经所述喷口喷出。10.根据权利要求5所述的喷淋装置，其特征在于，所述清洁装置还包括一限位装置，所述限位装置设置在所述喷嘴的两端，以限定所述滑片的移动位置。2CN109570075A说明书1/5页清洁装置及采用该清洁装置的喷淋装置技术领域[0001]本发明涉及显示装置制备领域，尤其涉及一种清洁装置及采用该清洁装置的喷淋装置。背景技术[0002]近来，随着社会步入信息导向社会，处理和显示大量信息的显示领域正在迅速发展，并且相应地，各种平板显示(FPD)装置已经研发出并且吸引了大量注意。FPD装置的示例包括LCD装置、等离子体显示面板(PDP)装置、场发射显示(FED)装置、电致发光显示(ELD)装置、有机发光二极管(OLED)显示装置等。FPD装置具有例如薄、轻、低功耗等优良性能，因此，FPD装置的应用领域不断扩大。特别是在大多数电子装置或移动装置中，FPD装置被用作一种用户接口。[0003]在各种平板显示(FPD)装置的制备过程中，通常需要通过光阻曝光、显影的方法制备基本结构。举例说明，基板经涂布前清洗及干燥后被传送至涂布装置处进行光阻涂布；涂布完成后，涂布有光阻的基板被传送至曝光装置处进行曝光，曝光后的基板再被传送至显影装置处进行显影，在基板上形成掩膜。其中在显影工艺中，显影液与曝光过的光阻进行化学反应，进而将所述光阻洗掉。由于显影液(TMAH)成本较高，为保证显影液能够重复利用，目前是将所有显影液回收至显影液存储槽内。显影液存储槽中显影液的浓度由显影原液(浓度为25％)和水共同调节至2.38％(除PLN制程为0.4％)。[0004]图1是显影装置示意图。请参阅图1，在所述显影工艺阶段，显影装置包括一第一显影槽10、一第二显影槽11及一第三显影槽12。一第一显影喷嘴13及一第二显影喷嘴14向第一显影槽10中淋喷显影液，使基板18上表面被喷涂显影液19。所述基板18上表面携带的部分显影液19在流经所述第二显影槽11及所述