树脂膜的形成方法及树脂膜的成膜装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110023529A(43)申请公布日2019.07.16(21)申请号201880004427.5(74)专利代理机构北京德琦知识产权代理有限(22)申请日2018.02.20公司11018代理人康泉王珍仙(30)优先权数据2017-0303212017.02.21JP(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日B05B7/16(2006.01)2019.05.16B05C9/12(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据B05C11/10(2006.01)PCT/JP2018/0059392018.02.20C23C14/12(2006.01)(87)PCT国际申请的公布数据H01L51/50(2006.01)WO2018/155421JA2018.08.30H05B33/04(2006.01)H05B33/10(2006.01)(71)申请人株式会社爱发科地址日本神奈川县(72)发明人青代信清健介高桥明久权利要求书1页说明书8页附图5页(54)发明名称树脂膜的形成方法及树脂膜的成膜装置(57)摘要本发明的树脂膜的形成方法使用掩模主体由金属材料构成且具备规定的开口部的掩模，在减压气氛下在基板上形成树脂膜，所述树脂膜的形成方法依次具备：第一工序，在减压气氛下，以与载置在经冷却的支撑台上的所述基板相接的方式设置所述掩模，并且经由该掩模供给经气化的树脂材料并在该基板上冷凝，从而在该基板上形成液态的树脂材料膜；第二工序，从所述基板剥离所述掩模；第三工序，对所述掩模上的树脂材料膜进行热处理，从而使该树脂材料膜蒸发；及第四工序，对残留在所述基板上的树脂材料膜照射UV光，使该树脂材料膜硬化而形成树脂膜。CN110023529ACN110023529A权利要求书1/1页1.一种树脂膜的形成方法，使用掩模主体由金属材料构成且具备规定的开口部的掩模，在减压气氛下在基板上形成树脂膜，所述树脂膜的形成方法依次具备：第一工序，在减压气氛下，以与载置在经冷却的支撑台上的所述基板相接的方式设置所述掩模，并且经由该掩模供给经气化的树脂材料并在该基板上冷凝，从而在该基板上形成液态的树脂材料膜；第二工序，从所述基板剥离所述掩模；第三工序，对所述掩模上的树脂材料膜进行热处理，从而使该树脂材料膜蒸发；及第四工序，对残留在所述基板上的树脂材料膜照射UV光，使该树脂材料膜硬化而形成树脂膜。2.根据权利要求1所述的树脂膜的形成方法，其中，所述第三工序中的热处理为使用加热装置对所述掩模进行的加热升温。3.根据权利要求1所述的树脂膜的形成方法，其中，通过从所述支撑台分离所述掩模的自然升温来进行所述第三工序中的热处理。4.根据权利要求1所述的树脂膜的形成方法，其中，在所述第三工序中的热处理中，从所述支撑台分离所述掩模，并且通过来自经加热的腔室或簇射板的辐射热来进行加热。5.一种树脂膜的成膜装置，使用掩模主体由金属材料构成且具备规定的开口部的掩模，在减压气氛下在基板上形成树脂膜，所述树脂膜的成膜装置具备：该基板的支撑部，内置有温度控制装置，所述温度控制装置在将作为树脂膜材料的经气化的树脂材料供给到基板上并冷凝而形成树脂材料膜时，将所述基板保持在零度以下的温度区域；对树脂材料膜进行热处理的机构，在对所述树脂材料膜照射UV光之前，从处于载置在所述支撑部上的状态的该基板剥离所述掩模，并且对该掩模上的树脂材料膜进行热处理；及UV照射装置，对所述树脂材料膜照射UV光而硬化，从而形成树脂膜。6.根据权利要求5所述的树脂膜的成膜装置，其中，所述对树脂材料膜进行热处理的机构为促进所述掩模的温度增加的加热装置。7.根据权利要求5所述的树脂膜的成膜装置，其中，所述对树脂材料膜进行热处理的机构为使所述掩模从支撑台脱离的移动装置。8.根据权利要求5所述的树脂膜的成膜装置，其中，所述对树脂材料膜进行热处理的机构为收容所述基板的腔室的加热装置。2CN110023529A说明书1/8页树脂膜的形成方法及树脂膜的成膜装置技术领域[0001]本发明涉及能够在减压气氛下容易去除在掩模上形成的树脂材料膜的树脂膜的形成方法及树脂膜的成膜装置。[0002]本申请基于2017年2月21日于日本申请的专利申请2017-030321号要求优先权，并且在此援引其内容。背景技术[0003]作为由高分子有机物构成的树脂膜的制造法，广泛使用蒸镀聚合法或紫外线硬化法。这两个制造法均为通过向经减压的处理槽内导入低分子的有机物气体以使供给到被处理体上的树脂材料产生聚合反应而在被处理体的表面上形成高分子的树脂膜的方法，具有树脂膜对被处理体表面的覆盖率(coverage)良好的优点。在专利文献1中公开了适于