流路清洗方法和流路清洗装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110060922A(43)申请公布日2019.07.26(21)申请号201910020056.6(22)申请日2019.01.09(30)优先权数据2018-0075732018.01.19JP(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本东京都(72)发明人杉町尚德内藤亮一郎(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277代理人刘新宇(51)Int.Cl.H01L21/02(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图17页(54)发明名称流路清洗方法和流路清洗装置(57)摘要本发明提供一种能够可靠地在短时间内清洗用于向基板供给处理液的流路的流路清洗方法和流路清洗装置。在利用清洗液对用于向基板(W)供给抗蚀剂等处理液来对基板进行处理的该处理液的流路(20A、20B)进行清洗的流路清洗方法中实施以下的工序：混合工序，以使溶解度参数与构成所述处理液的溶媒的溶解度参数近似的方式将多种溶剂混合来生成所述清洗液；以及清洗工序，向所述处理液的流路(20A、20B)供给所述清洗液来进行清洗。由此，能够防止在向流路供给处理液时在流路(20A、20B)中还残留有会溶解于处理液的溶媒中的异物，能够可靠地在短时间内清洗这些流路(20A、20B)。CN110060922ACN110060922A权利要求书1/2页1.一种流路清洗方法，利用清洗液对用于向基板供给处理液来对基板进行处理的该处理液的流路进行清洗，所述流路清洗方法的特征在于，具备：混合工序，以使溶解度参数与构成所述处理液的溶媒的溶解度参数近似的方式将多种溶剂混合来生成所述清洗液；以及清洗工序，向所述处理液的流路供给所述清洗液来进行清洗。2.根据权利要求1所述的流路清洗方法，其特征在于，基于所述处理液的溶媒的所述溶解度参数和所述多种溶剂的各种溶剂的所述溶解度参数来进行所述混合工序。3.根据权利要求2所述的流路清洗方法，其特征在于，所述混合工序包括：溶剂选择工序，基于所述处理液的溶媒的所述溶解度参数和所述多种溶剂的各种溶剂的所述溶解度参数来从m种所述溶剂中选择出比m种少的n种溶剂，其中，m为3以上的整数，n为2以上的整数；以及将选择出的所述溶剂混合来生成所述清洗液的工序。4.根据权利要求2或3所述的流路清洗方法，其特征在于，所述混合工序包括：混合比决定工序，基于所述处理液的溶媒的所述溶解度参数和所述多种溶剂的各种溶剂的所述溶解度参数来决定所述多种溶剂的各种溶剂的混合比；以及以决定出的混合比将溶剂混合来生成所述清洗液的工序。5.根据权利要求3或4所述的流路清洗方法，其特征在于，基于将所述溶解度参数中包含的极化项的大小设为X轴且将所述溶解度参数中包含的氢键项的大小设为Y轴时的各溶剂的坐标以及所述处理液的溶媒的坐标来进行所述溶剂选择工序或所述混合比决定工序。6.根据权利要求1所述的流路清洗方法，其特征在于，包括获取与所述处理液有关的信息的工序，包括以下的工序：基于第一数据，将n种以下的溶剂混合来生成所述清洗液，所述第一数据是为了基于获取到的与处理液有关的信息来从m种所述溶剂选择出比m种少的所述n种以下的所述溶剂而预先设定的，其中，m为3以上的整数，n为2以上的整数。7.根据权利要求1或6所述的流路清洗方法，其特征在于，包括获取与所述处理液有关的信息的工序，包括以下的工序：基于第二数据，将所述多种溶剂混合来生成所述清洗液，所述第二数据是为了基于获取到的与处理液有关的信息来决定所述多种溶剂的混合比而预先设定的。8.根据权利要求1至7中的任一项所述的流路清洗方法，其特征在于，所述溶解度参数为汉森溶解度参数。9.一种流路清洗装置，利用清洗液对用于向基板供给处理液来对基板进行处理的该处理液的流路进行清洗，所述流路清洗装置的特征在于，具备：混合部，其以使溶解度参数与构成所述处理液的溶媒的溶解度参数近似的方式将多种溶剂混合来生成所述清洗液；溶剂供给部，其用于向所述混合部供给所述多种溶剂；以及2CN110060922A权利要求书2/2页清洗机构，其向所述处理液的流路供给所述清洗液来进行清洗。10.根据权利要求9所述的流路清洗装置，其特征在于，设置有控制部，该控制部获取用于确定所述处理液的溶媒的溶解度参数的信息，所述控制部输出控制信号，以基于所述处理液的溶媒的所述溶解度参数和所述多种溶剂的各种溶剂的所述溶解度参数来在所述混合部中进行各溶剂的混合。11.根据权利要求10所述的流路清洗装置，其特征在于，所述溶剂供给部构成为能够向所述混合部分别独立地供给m种溶剂，m为3以上的整数，所述控制部输出控制信号，以基于所述处理液的溶媒的所述溶解度参数和所述多种溶剂的各种溶剂的所述溶解度参数，来从