一种烘烤设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110128033A(43)申请公布日2019.08.16(21)申请号201910435706.3(22)申请日2019.05.23(71)申请人深圳市华星光电技术有限公司地址518132广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号(72)发明人涂乐志(74)专利代理机构深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300代理人黄威(51)Int.Cl.C03C25/12(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种烘烤设备(57)摘要本发明公开了一种烘烤设备，包括加热腔室、承载板以及除污器，其中所述承载板设置于所述加热腔室的底板上，且所述除污器可移动地设置于所述加热腔室内与所述底板相对的顶板上，所述除污器在所述顶板上进行移动以达到除去污渍的目的。本发明通过在烘烤设备的加热腔室内壁设置可移动地除污器，及时除去加热腔室内壁残留的溶剂，有效的防止了因溶剂的掉落而污染基板，保证了产品的品质。CN110128033ACN110128033A权利要求书1/1页1.一种烘烤设备，其特征在于，包括：加热腔室，所述加热腔室具有相对设置的底板以及顶板；承载板，设置于所述加热腔室内并位于所述底板上；除污器，设置于所述加热腔室内，且所述除污器可移动地设置于所述顶板上。2.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，所述加热腔室还具有与所述底板以及所述顶板相连接的侧壁，且所述侧壁上设置有进出口以及与所述进出口相匹配的门体。3.根据权利要求2所述的烘烤设备，其特征在于，所述除污器平行于所述侧壁设置，且所述除污器的移动方向与所述侧壁垂直。4.根据权利要求2所述的烘烤设备，其特征在于，所述除污器垂直于所述侧壁设置，且所述除污器的移动方向与所述侧壁平行。5.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，所述除污器的长度等于所述顶板与所述除污器相平行一边的边长。6.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，所述除污器包括壳体以及除污件，其中：所述壳体可移动地设置于所述顶板上；所述除污件可拆卸地设置于所述壳体上，且所述除污件与所述顶板相接触。7.根据权利要求6所述的烘烤设备，其特征在于，所述壳体上设置有凹槽，且所述除污件设置于所述凹槽内并与所述顶板相接触。8.根据权利要求6所述的烘烤设备，其特征在于，所述壳体的材质包括但不限于不锈钢或铝合金。9.根据权利要求6所述的烘烤设备，其特征在于，所述除污件的材质包括但不限于海绵。10.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，所述承载板为云母加热板，以向所述加热腔室提供热能。2CN110128033A说明书1/5页一种烘烤设备技术领域[0001]本发明涉及显示面板制程领域，尤其涉及一种烘烤设备。背景技术[0002]目前在TFT-LCD制程中，光阻涂布后的预烘烤和显影后的后烘烤是黄光制程中非常重要的制程，该制程常用的烘烤炉有承载板式烘烤，其优点是均匀性高，在生产过程中，含有光阻的玻璃基板在烘烤炉窗口打开后，先进入加热腔室烘烤，结束后，玻璃基板离开加热腔室，窗口关闭；最后玻璃基板进入冷却单元进行冷却，但是，每次基板进出加热腔室时，光阻溶剂挥发会与腔壁接触，积累到一定程度后，上腔壁上的污染物会掉落到承载板或者玻璃上，污染基板，影响产品品质。发明内容[0003]本发明提供一种烘烤设备，通过在加热腔室内壁设置可移动地除污器，能有效除去加热腔室内壁上残留的溶剂，从而解决因溶剂掉落至承载板或玻璃上而污染基板，进而影响产品品质的技术问题。[0004]为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：[0005]本发明提供一种烘烤设备，包括：[0006]加热腔室，所述加热腔室具有相对设置的底板以及顶板；[0007]承载板，设置于所述加热腔室内并位于所述底板上；[0008]除污器，设置于所述加热腔室内，且所述除污器可移动地设置于所述顶板上。[0009]根据本发明一优选实施例，所述加热腔室还具有与所述底板以及所述顶板相连接的侧壁，且所述侧壁上设置有进出口以及与所述进出口相匹配的门体。[0010]根据本发明一优选实施例，所述除污器平行于所述侧壁设置，且所述除污器的移动方向与所述侧壁垂直。[0011]根据本发明一优选实施例，所述除污器垂直于所述侧壁设置，且所述除污器的移动方向与所述侧壁平行。[0012]根据本发明一优选实施例，所述除污器的长度等于所述顶板与所述除污器相平行一边的边长。[0013]根据本发明一优选实施例，所述除污器包括壳体以及除污件，其中：[0014]所述壳体可移动地设置于所述顶板上；[0015]所述除污件可拆卸地设置于所述壳体上，且所述除污件与所述顶板相接触。[0016]根据本发明一优选实施例，所述壳体上设置有凹槽，且所述除污件设置于所述凹槽内并与所述顶