干式超声波清洗装置及清洗方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111940414A(43)申请公布日2020.11.17(21)申请号202010892309.1(22)申请日2020.08.31(71)申请人合肥市商巨智能装备有限公司地址230012安徽省合肥市新站区工业园内申请人深圳商巨智能设备股份有限公司深圳市商巨视觉技术有限公司(72)发明人林玲殷嘉鸿张阳亮陈玉群(51)Int.Cl.B08B5/02(2006.01)B08B5/04(2006.01)B08B13/00(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图6页(54)发明名称干式超声波清洗装置及清洗方法(57)摘要本发明提供了一种干式超声波清洗装置及清洗方法，干式超声波清洗装置包括：壳体，其一端设置有密封法兰，密封法兰内设置有一接头；压力腔，其设置于壳体内，压力腔内安装有至少一个超声波发生器，超声波发生器底部设置有用于向待清洗的物体表面喷出气流的喷射狭缝；进气通道，其设置于压力腔的上侧，进气通道与超声波发生器相连通，进气通道通过接头与进气管相连；抽气单元，其设置于压力腔的两侧，抽气单元用于收集从待清洗的物体表面吹扫出的杂质。本发明吹扫清洁效率高，可以显著提高待清洗物体的表面清洁度，同时避免待清洗物体表面经过湿式清洗处理后产生大量杂质残留。CN111940414ACN111940414A权利要求书1/1页1.一种干式超声波清洗装置，其特征在于，其包括：壳体，其一端设置有密封法兰，所述密封法兰内设置有一接头；压力腔，其设置于所述壳体内，所述压力腔内安装有多个超声波发生器，所述超声波发生器底部设置有用于向待清洗的物体表面喷出气流的喷射狭缝；进气通道，其设置于所述压力腔的上侧，所述进气通道与所述超声波发生器相连通，所述进气通道通过所述接头与进气管相连；抽气单元，其设置于所述压力腔的两侧，所述抽气单元用于收集从待清洗的物体表面吹扫出的杂质。2.根据权利要求1所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述超声波发生器由数组空腔排布而成。3.根据权利要求1所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述喷射狭缝呈倾斜10-20°。4.根据权利要求1所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述超声波发生器包括依次连通的第一水平空腔、第一垂直流道、第二水平空腔、第二垂直流道和第三水平空腔。5.根据权利要求4所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述第一水平空腔的纵截面呈三角形。6.根据权利要求4所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述第二水平空腔、所述第三水平空腔的纵截面形状分别选自矩形、圆形、弧形和梯形中的任意一种。7.根据权利要求1所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述压力腔内安装有多个平行排布的超声波发生器，所述进气通道与每个所述超声波发生器之间分别设置有通气孔，沿着远离所述进气管的方向通气孔的直径逐渐增大。8.根据权利要求1所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述抽气单元包括：至少一个真空腔，其设置于所述压力腔的一侧处，所述真空腔与所述压力腔的底部平行；所述真空腔底部设置有吸气狭缝；至少一个抽气通道，其设置于所述真空腔的上方并与其相连通；抽气组件，其分别通过连接管路与抽气通道相连，所述抽气组件用于通过所述抽气通道使所述真空腔内产生负压。9.根据权利要求8所述的干式超声波清洗装置，其特征在于，所述真空腔纵截面形状呈倾斜的水滴形。10.一种采用如权利要求1～9任一所述的干式超声波清洗装置对液晶显示器的玻璃基板进行清洗的方法。2CN111940414A说明书1/5页干式超声波清洗装置及清洗方法技术领域[0001]本发明涉及液晶面板清洗设备技术领域，具体而言，涉及一种干式超声波清洗装置及清洗方法。背景技术[0002]目前在液晶行业中大多采用湿式清洗，但是在涂胶之后湿式清洗对胶层有破坏作用，增大了废品率；且在磨擦取向后，产生了大量的尘粒，用湿式清洗较为浪费资源，因为，湿式清洗需要大量的消耗品，如：纯净水、其它化学药剂等。在生产过程中进行喷衬垫料时，由于喷洒不当，容易造成不符合要求的玻璃板，而目前这些不合格的玻璃板当作废品处理，较为浪费。并且湿式清洗只能将其表面进行清洁，往往达不到理想的效果。发明内容[0003]为解决上述缺陷，本发明提供了一种干式超声波清洗装置及清洗方法，该装置吹扫清洁效率高，可以显著提高待清洗物体的表面清洁度，同时避免待清洗物体表面经过湿式清洗处理后产生大量杂质残留。[0004]一种干式超声波清洗装置，其包括：壳体，其一端设置有密封法兰，所述密封法兰内设置有一接头；压力腔，其设置于所述壳体内，所述压力腔内安装有多个超声波发生器，所述超声波发生器底部设置有用于向待清洗的物体表面喷出气流的喷射狭缝；进气通道，其设置于所述压力腔的上侧，所述进气通道与所述超