基于共焦成像法的亚表层损伤散射仿真.docx

基于共焦成像法的亚表层损伤散射仿真摘要：光学零件的亚表面缺陷直接影响其使用性能和抗激光损伤阈值等重要指标而造成这些危害的根本原因是由损伤层引入的入射光的散射。采用时域有限差分（FDTD）法结合共焦层析测量系统进行模拟仿真。首先针对常见的光学材料分析了入射光经由亚表层中的微裂纹、气泡等常见缺陷调制后的光场分布并结合不同形态参数和光学参数建立模型；其次引入球面波激励源模拟计算了入射波聚焦点沿固定间隔逐渐偏离缺陷时的散射分布。结果表明：共焦层析测量系统能够实现对亚表层损伤的测量满足纵向响应函数趋势。关键词：光学零件；亚表层损伤；时域有限差分；光散射引言光学零件加工亚表面损伤是指其近表面区域由于机械加工过程产生的断裂、变形和污染等内部缺陷。近年来研究适用于光学零件亚表层损伤的检测技术成为当今光学工程领域的一个热点[1]。激光扫描共聚焦显微法测量采用了点探测原理能够抑制共焦点以外的光线进入探测器的感光面因而提高了系统的分辨率是一种有效的测量亚表层损伤的方法[2]；该方法是用光电探测器对测量区域内任一点散射光功率进行接收记录从而达到推断光学零件亚表层形态的目的。目前光散射计算的相关理论包括Mie散射理论、瑞利（Ryaleigh）散射、夫朗和费散射和时域有限差分（finitedifferencetimedomainFDTD）法[3]Mie散射理论主要针对处于均匀介质中的各向同性颗粒在单色平面波入射下的散射进行研究；瑞利散射只有当散射粒径d4λ时弗朗和费散射理论比较适用。FDTD方法是一种时域分析方法在解决非均匀介质、任意形状和复杂结构的散射时优点明显。本文就是根据FDTD结合实验室激光扫描共聚焦显微测量原理通过对光学零件亚表层区域及其缺陷类型进行合理的假设构造符合实际测量系统的几何模型对光学零件亚表层损伤缺陷的散射分布及其引起的激光扫描共焦显微测量系接收信号的光强信息进行模拟仿真[4]。其基本要求是：（1）模型所加载光波为球面波描述光波在光学零件亚表层损伤处的散射分布形式；（2）当聚焦点沿一定间隔逐渐偏离缺陷时探测器接收信号光强的变化趋势。1激光扫描共聚焦显微测量系统及仿真理论1.1检测系统简介共聚焦显微测量光学零件亚表层损伤的原理是利用了亚表层损伤缺陷对入射光的散射特性散射光的强度反映了缺陷信息[56]。如图1所示共聚焦显微系统利用放置在光源后的照明针孔S和放置在检测器前的探测针孔P实现点照明和点探测只有来自焦平面O点的光才能全部通过共聚焦针孔P并被探测器捕获和成像。其余位置的散射光被阻挡由此获得被检测元件焦平面下样品内部各个位置的亚表层损伤分布；然后通过改变共聚焦显微镜聚焦平面的位置对不同点进行轴向扫描得到各个位置的切面图像。其最大的优点是层析技术层析技术是通过针孔阻挡聚焦平面前后的离焦光改变聚焦深度而获得样品的一个个光学切片层从而得到亚表层的损伤信息。1.2仿真理论基础本文采用FDTD法分析光学零件亚表层损伤的光学散射问题该方法是一种有效的电磁学数值计算方法[79]近来也被应用于光学零件亚表面的光学散射分析。相对于Mie理论它通过FDTD网格离散（见图2）能够对任意几何结构、任意材料组成的零件表面进行计算。不同材料零件表面具有不同折射率所以在FDTD网格剖分的时候也就包含了零件微表面的结构信息。3模拟仿真试验本文利用式（2）的推进公式结合仿真软件模拟了入射光波聚焦点沿固定间隔逐渐偏离缺陷时的散射分布以及探测器接收信号强度的变化趋势假设模拟中加载的电磁场为[13]：E（rt）=E0/{rexp[j（k0r-ωt）]}其中k0=2πf/c（5）式中E0为振幅r为球面波半径j为虚部ω为角频率f为频率t为周期。3.1常见损伤缺陷散射模拟假设光波扫描汇聚点坐标（300）激励源入射方向沿水平方向从左到右。图5给出了常见的缺陷类型气泡（椭圆形）和微裂纹（长条形）对入射光波的散射分布。通过计算探测器接收范围内的散射光强。3.2积分区域描述激光扫描共聚焦显微系统测量端物镜NA=0.65探测器只能接收一定角度范围内的信号模型中定义积分范围以聚焦点α为端点沿光波入射方向的反方向夹角62°相交正方形于β、γ点Δαβγ可近似为探测器的信号光强接收范围。图6描述了散射由损伤缺陷气泡引起时且光波聚焦点在坐标（300）；按照积分区域定义可设积分区域坐标（300）（035）（085）探测器接收范围角度约为62°。激光扫描共聚焦显微系统的探测器仅能接收到此角度范围内的散射光强因此模型对Δαβγ内部（图中深色区域）进行积分求和即可模拟计算探测器接收到的散射光强强度。正方形边长120表示零件亚表面区域纵坐标表示零件表面宽度横坐标表示零件亚表面深度单位