一种传感器芯片标定测试调度方法及系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112325920A(43)申请公布日2021.02.05(21)申请号202011231388.8(22)申请日2020.11.06(71)申请人北京清大天达光电科技股份有限公司地址101200北京市平谷区马坊镇金马北街61号院2号楼1至2层101(72)发明人崔小龙范兆周张辽窦磊(74)专利代理机构北京知呱呱知识产权代理有限公司11577代理人孙志一(51)Int.Cl.G01D18/00(2006.01)G05B19/418(2006.01)权利要求书3页说明书10页附图5页(54)发明名称一种传感器芯片标定测试调度方法及系统(57)摘要本申请实施例公开了一种传感器芯片标定测试调度方法和系统，用于调度传感器标定线上多个传感器的芯片载板在多个芯片测试区同时进行标定测试，包括：多个测试区的标定测试是否完成，其它非测试区的芯片载板的工艺温度是否准备好，根据判断结果，决定是否将芯片载板送往下一个温区、以及是否送往下一个温区的某一个温箱。还提供了一种调度系统，能供确保芯片载板按照使用需求在不同温区的不同温箱停留并执行工艺动作，并且停留时间和每个芯片载板的位置信息实时可控可查。同时进行多个芯片标定作业，提高了标定线的生产效率、减少了整线的芯片载板数量冗余。CN112325920ACN112325920A权利要求书1/3页1.一种传感器芯片标定测试调度方法，用于调度传感器标定线上多个传感器的芯片载板在N个芯片测试区同时进行标定测试，所述标定线包括N-1个不同温度下的测试温区和1个复测区，所述测试温区按工艺顺序包括一个预温箱、一个测试箱、一个缓冲箱和一个过渡箱，其中最末尾的测试温区不含过渡箱，所述复测区按顺序包括一个降温箱、一个写入箱和一个复测箱；除温区的预温箱外，每个箱含有一个芯片载板位置，温区的预温箱含有四个芯片载板位置；其中N为大于等于2的整数；其特征在于，所述传感器芯片标定的调度方法包括：步骤1：当各个芯片载板在测试温区预温箱的四个位置和复测区降温箱分别停留、累计达到一定的时间并达到工艺温度时，判断整个标定线是否处于空闲状态、是否所有的动作都已结束；如果是，则进行步骤2；否则等待所有工艺位置完成其动作，直至整个标定线处于空闲状态；步骤2：判断各个测试温区测试箱和复测区复测箱是否有芯片载板停留；如果没有，则进行步骤3；如果有，等待各温区测试箱及复测区复测箱完成标定测试、且芯片载板离开测试箱和复测箱；步骤3：判断各测试温区缓冲箱的芯片载板是否需要平稳恢复温度至常温，若否，则将各温区缓冲箱的芯片载板转移至相应的过渡箱，然后进行步骤5；若是，则直接进行步骤5，然后将各温区缓冲箱的芯片载板转移至相应的过渡箱；步骤4：判断芯片载板在离开高温区时是否需要两个单位时间的工艺降温时间，若否，则将高温区缓冲箱的芯片载板转移至复测区降温箱，然后进行步骤6，若是，则直接进行步骤6，然后将高温区缓冲箱的芯片载板转移至复测区降温箱；步骤5：使测试温区预温箱紧邻测试箱的芯片载板进入测试箱、使相应的上游温区过渡箱的芯片载板进入本温区预温箱第一个位置、预温箱内其它芯片载板在本预温箱内向下游方向转移一个位置；步骤6：将复测区降温箱、写入箱的芯片载板一起向下游方向转移一个位置，分别进入复测区写入箱、复测箱；步骤7：各测试温区预温箱和过渡箱、复测区降温箱和写入箱的芯片载板停留在当前位置，进行累计工艺温度时间计时；各测试温区测试箱、复测区复测箱对箱内的芯片载板进行标定测试。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述标定线包括顺序连接的三个温区，其中第一个温区包括低温预温箱、低温测试箱、低温缓冲箱、过渡箱，第二个温区包括常温预温箱、常温测试箱、常温缓冲箱、过渡箱，第三个温区包括高温预温箱、高温测试箱、高温缓冲箱，所述复测区包括降温箱、写入箱、复测箱。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述芯片载板在节拍时间内、在某位置停留的时间为节拍时间和动作时间的差值，所述差值为单位时间；一个芯片载板在某个测试温区的测试箱和缓冲箱停留共计一个单位时间；其中，所述动作时间为所述步骤3和所述步骤4的时间合称，所述节拍时间为所述步骤3和所述步骤4动作按照设定的周期触发的周期。4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤7的累计工艺温度时间计时包括：所述芯片载板为了达到某温区测试箱所需的工艺温度、在本温区预温箱的停留时间为四个单位时间；所述芯片载板为了达到下一温区预温箱所需的工艺温度、在本温区过渡箱的停留2CN112325920A权利要求书2/3页时间为一个单位时间；所述芯片载板为了达到复测区复测箱所需的工艺温度、在复测区降温箱和写入箱的停留时间为两个单位时间。5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤